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電子潔凈室污染因素:
一、電磁噪聲
通過大電流的氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān),高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲,影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。
二、振動
設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時會把振動經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上,影響它們的工作精度。
應(yīng)在振源和怕受振動的設(shè)備下安裝空氣的彈簧減震器,以達(dá)到衰減振動的目的。
三、生銹
酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時,酸霧氣擴(kuò)散于室內(nèi),腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分,就是不銹鋼露在含CI氣的空氣中,也會受腐蝕生銹。
處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩,保證足夠的局部排風(fēng)量。
潔凈室的這些污染源,你可能都忽略了!
對潔凈室局部改造的施工中,通常人在地板下鋪設(shè)管道或者坐在地板上進(jìn)行作業(yè)。這種施工有時切割管道,于是聚氯i乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚(yáng)出來。
所以大修時盡管周圍掛上檔布以養(yǎng)護(hù),但由于施工人員進(jìn)進(jìn)出出,受污染的不僅僅是局部范圍,而且全室都受嚴(yán)重污染。
在潔凈室內(nèi),只用有人在操作,有設(shè)備在運(yùn)行,就會發(fā)塵。這些塵埃并非隨著循環(huán)氣流為高i效過濾器所捕集,一部分塵??傄e落在地板、墻壁、設(shè)備表面上。應(yīng)清除這些積塵,以保持潔凈室的清潔。
總體來說,潔凈區(qū)在線監(jiān)測系統(tǒng)是十分必要的,可以24小時監(jiān)測潔凈區(qū),從而可以及時發(fā)現(xiàn)問題,并解決。
潔凈室是污染敏感產(chǎn)品批量生產(chǎn)的條件,潔凈室廣泛應(yīng)用于微電子、電子、半導(dǎo)體、光電、精密制造、生物、航天航空、汽車等眾多行業(yè)中,隨著社會經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展。潔凈室應(yīng)用范圍越來越廣,各行各業(yè)的等級要求也隨之提高,潔凈室可以有效的提高產(chǎn)品的良率,但是有著很大的局限性。傳統(tǒng)潔凈室的整體造價非常高,等級越高造價越高。
組裝式潔凈室是一種快捷的潔凈空間模塊(簡易潔凈室), -種新型的潔凈棚,潔凈等級和空間搭配可以根據(jù)要求設(shè)計,能夠快速提供高區(qū)域潔凈度要求,可單獨(dú)使用,也可組合生產(chǎn)線使用,有效提高區(qū)域潔凈度, 提升產(chǎn)品良率,達(dá)到客戶需求。潔凈棚采用模塊化結(jié)構(gòu),在工廠完成組成部分后,到施工現(xiàn)場直接拼接安裝。其施工周期短、低成本.方便快捷、組裝靈活。