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真空鍍膜機(jī)的真空室該如何設(shè)計(jì)呢?
真空鍍膜機(jī)相比大家都存有疑惑,今天來討論一下的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計(jì)問題,要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內(nèi)容。
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。
中頻磁控濺射鍍膜設(shè)備有哪些特點(diǎn)
中頻磁控鍍膜設(shè)備濺射技術(shù)已漸成為濺射鍍膜的主流技術(shù),它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜。中頻磁控鍍膜設(shè)備濺射技術(shù)已漸成為濺射鍍膜的主流技術(shù),它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜的特點(diǎn)是克服了陽極消失現(xiàn)象;減弱或消除靶的異?;」夥烹?。因此,提高了濺射過程的工藝穩(wěn)定性,同時,提高了介質(zhì)膜的沉積速率數(shù)倍。
新研發(fā)平面靶,圓柱靶,孿生靶,對靶等多種形式的中頻濺射靶結(jié)構(gòu)和布局。該類設(shè)備廣泛應(yīng)用于表殼、表帶、手機(jī)殼、高爾夫球具、五金、餐具等鍍TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各種裝飾鍍層。
真空磁控濺射鍍膜機(jī)機(jī)械泵的分類
1.機(jī)械泵的分類:機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此首要使用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此現(xiàn)在使用廣泛,這篇文章首要介紹)四種類型。
2.機(jī)械泵是從大氣開端作業(yè)的,它的首要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為規(guī)劃與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.0*10-1PA的極限真空,雙級機(jī)械泵能夠?qū)⑷萜鲝拇髿獬榈?.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速率,是指旋片泵按額外轉(zhuǎn)數(shù)工作時,單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積,能夠用下公式核算:Sth=2nVs=2nfsLfs表明吸氣完畢時空腔截面積,L表明空腔長度,系數(shù)表明轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一星期有兩次排氣進(jìn)程,Vs表明當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時分,吸氣完畢,此刻空腔內(nèi)的體積大,轉(zhuǎn)速為n。
機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有聯(lián)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時分,機(jī)械泵的排氣效果也會變差,所以要常常養(yǎng)護(hù),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需求常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會漏氣,油過多,把吸氣孔阻塞,無法吸氣和排氣,通常,在油位在線下0.5厘米即可。
3.機(jī)械泵常常被用來抽除枯燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有性和腐蝕性的氣體,機(jī)械泵通常被用來抽除性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。
旋片泵中起首要效果的部件是定子、轉(zhuǎn)子等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不一樣心軸,象兩個內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩彈片中心裝有繃簧,確保了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。