OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

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OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)的用途 ：

適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作?？慑冎菩Ч校浩胀婂兞撩?、啞面（半啞、全啞）、工藝電鍍拉絲、雨滴、五彩等。與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機是專為科研院所及實驗室用戶群體設計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準無油高真空系統(tǒng)，機架電控一體化設計，整體布局緊湊合理，充分考慮人機工程學的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的真空室結(jié)構(gòu)。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。在熱裂解過程中裂解溫度絲毫的改變都將直接影響裂解產(chǎn)物，造成色譜圖不具有可比性。廣泛應用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領域。

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300D三源有機蒸發(fā)鍍膜機

主要用途：

特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領域。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng)、樣品臺系統(tǒng)、 真空抽氣及測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、膜厚測試 系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成。

技術指標：

極限真空度6.7×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa（短時間暴露 大氣并充干燥氮氣后開始抽氣）

樣品臺：尺寸為4英寸平面樣品；

蒸發(fā)源：3套

4套擋板系統(tǒng)：擋板共有3套，動密封手動控制；

氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器1路

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999?

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)

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