氣體監(jiān)測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設(shè)計戶內(nèi)通風(fēng)裝置時要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設(shè)備。

1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。聯(lián)產(chǎn)法氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單，可以連續(xù)工作的特點。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。2016年將達到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。可在核粒子jia速器及避雷器X射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好，對設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對α-粒子有高度的停止能力，故在放i射化學(xué)中也有應(yīng)用。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。

六氟化硫氣體泄漏檢測技術(shù)

 SF6氣體泄漏檢測主要采用了電化學(xué)技術(shù)、電i擊穿技術(shù)和紅外光譜吸收技術(shù)。

 1、電化學(xué)技術(shù)：電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。

 2、電i擊穿技術(shù)：電i擊穿技術(shù)是從SF6氣體在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。

 3、紅外光譜吸收技術(shù)：紅外光譜吸收技術(shù)(又稱激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。

      六氟化硫氣體是一種安全無毒的氣體，不會對皮膚和眼睛造成傷害。但是說SF6氣體無害的前提是純品六氟化硫，如果是高壓開關(guān)中已經(jīng)使用過很多次的SF6氣體，當(dāng)然就不安全了。高溫、水分、高壓以及電弧作用，會導(dǎo)致SF6氣體分解出許多有毒物質(zhì)，此外高溫的SF6氣體電離產(chǎn)生的電弧本身也非常危險。大家知道，目前化工行業(yè)制造六氟化硫氣體的方法主要是采用單質(zhì)硫磺與過量氣態(tài)氟直接化合反應(yīng)而成。六氟化硫防護是保護工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設(shè)備還是穿著六氟化硫防護服都屬于六氟化硫防護的內(nèi)容。