選擇真空泵注意事項：

1、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知旋片真空泵道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

2、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

東莞市三木森自動化設備有限公司是一家專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售節(jié)能真空泵，雙級節(jié)能真空泵，無油節(jié)能真空泵，無油雙級節(jié)能真空泵，羅茨真空泵，螺桿真空泵，無油螺桿真空泵，中央真空系統(tǒng)，泡沫廠中央真空系統(tǒng)的廠商。節(jié)能、環(huán)保的基富產(chǎn)品，全系統(tǒng)設計與安裝工程，售后、保養(yǎng)為一體專業(yè)性方案是公司核心優(yōu)勢。

水環(huán)真空泵（又名液環(huán)式真空泵）是市面上粗真空應用范圍內(nèi)較為廣泛的真空泵，液環(huán)泵在使用過程中經(jīng)常出現(xiàn)真空泵達不到使用要求，像這樣的情況基本上科歸類為一下幾點：

1）、真空泵循環(huán)水水溫，溫度過高，

2）、管道布局不合理，泄露、直角彎頭。

3）、排液管道布局不合理，管道長，背壓大

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設備的生產(chǎn)效率，保證設備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶，如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。