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光波超精密——高反光銅鏡氣浮軸承廠家
空氣軸承??諝廨S承又稱為氣浮軸承,指的是用氣體(通常是空氣,但也有可能是其它氣體)作為潤(rùn)滑劑的滑動(dòng)軸承。是利用空性勢(shì)能來(lái)起支承作用的一種新型軸承。
空氣軸承又稱氣浮軸承,是指使用氣體(通常是空氣,但也有可能是其他氣體)作潤(rùn)滑劑的滑動(dòng)軸承。由軸承內(nèi)圈和外圈組成,外圈帶有進(jìn)氣口,內(nèi)圈帶有噴嘴。氣溶膠比油粘性小,耐高溫,無(wú)污染,因此可用于高速機(jī)械、儀器和性設(shè)備,但它的載重能力低于油。氣浮軸承是利用氣浮彈性勢(shì)能起到支撐作用的新型軸承。
光波超精密軸承廠家——高反光銅鏡氣浮軸承廠家
空氣軸承分為三大類:空氣靜壓i軸承、空氣動(dòng)壓i軸承和擠壓膜軸承。在一般工業(yè)中,空氣靜壓i軸承用得較廣泛。
氣體靜壓i軸承,是通過(guò)節(jié)流器將氣體壓縮進(jìn)軸承內(nèi),形成一層壓力膜,起支撐作用。它的支承原理與液體靜承基本類似。根據(jù)潤(rùn)滑性能的不同(液體為不可壓縮流體,粘度一般比空氣大2~3個(gè)數(shù)量級(jí)),兩者的設(shè)計(jì)理論、結(jié)構(gòu)、應(yīng)用場(chǎng)合自然也不同。
氣浮導(dǎo)軌的工作原理?
氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承bai的基本原理,實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦du和無(wú)振動(dòng)的平滑zhi移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清dao潔無(wú)污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用,因而可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。氣浮導(dǎo)軌在體潤(rùn)滑分析的表現(xiàn)上看,直線氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣體流量均有超常規(guī)表現(xiàn),特別是zui關(guān)鍵的性能指標(biāo)——位移精度上,相對(duì)于傳統(tǒng)導(dǎo)軌有著成數(shù)量級(jí)的比較優(yōu)勢(shì),精密機(jī)械、測(cè)量?jī)x器等領(lǐng)域普及使用氣浮導(dǎo)軌將是行業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。
氣靜軸承力膜的形成與運(yùn)動(dòng)過(guò)程無(wú)關(guān),因此,當(dāng)連接氣源時(shí),承力膜始終處于流體摩擦狀態(tài)。氣浮軸承分為徑向氣浮軸承、推力氣浮軸承和球氣浮軸承等。單用的推氣式氣體軸承一般稱為平面氣體軸承或氣浮墊,主要用于實(shí)現(xiàn)線性運(yùn)動(dòng),如各種類型的精密氣浮式線性運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高頻高轉(zhuǎn)速線性驅(qū)動(dòng),無(wú)接觸靜壓氣浮式輸送系統(tǒng)等;單用的推氣式氣體軸承與徑向氣體軸承組合用于實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),如各種類型的精密氣浮臺(tái),高速氣浮電主軸,氣浮主軸等;單用的推氣式氣體軸承一般用于實(shí)現(xiàn)氣浮套,除轉(zhuǎn)動(dòng)外還可實(shí)現(xiàn)沿軸向滑動(dòng)。靜壓i軸承廣泛應(yīng)用于精密和超精密設(shè)備,如集成電路制造設(shè)備,平面顯示器制造設(shè)備,半導(dǎo)體制造設(shè)備,電子制造設(shè)備,太陽(yáng)能電池制造設(shè)備,新型元件制造設(shè)備,檢測(cè)和測(cè)量設(shè)備,醫(yī)i療設(shè)備,高精度機(jī)床等。
一些氣動(dòng)式靜壓i軸承在使用過(guò)程中,由于實(shí)際使用條件發(fā)生變化,即使變化的程度很小,其性能指標(biāo)也會(huì)發(fā)生較大的變化。氣體靜壓i軸承對(duì)使用條件的敏感程度主要與所采用的節(jié)流方式以及制造過(guò)程的水平有關(guān),例如,表面復(fù)合節(jié)流式氣體靜壓i軸承對(duì)氣膜高度和角度的變化非常敏感,而精i確地說(shuō),氣隙稍大就不能達(dá)到節(jié)流;而多孔質(zhì)型氣體靜壓i軸承對(duì)溫度的變化以及壓縮空氣中殘余的油、水和微粒的殘留量也會(huì)對(duì)節(jié)流i產(chǎn)生影響。
采用氣浮軸承意味著可以極大地延長(zhǎng)i刀具壽命。振動(dòng)越小,旋轉(zhuǎn)精度越高,意味著鉆頭、刀具、砂輪和鉆井工具的壽命越長(zhǎng),維護(hù)費(fèi)用和操作費(fèi)用也越低。
氣浮軸承主軸(例如:半導(dǎo)體加工)可以提供平滑、精i確、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng),從而提高表面光度。
在軸承內(nèi)部不存在金屬與金屬之間的接觸,如果供應(yīng)的空氣干凈,并且不含油和水,將確保實(shí)際無(wú)限的壽命,此外,由于運(yùn)轉(zhuǎn)性質(zhì),氣浮軸承會(huì)不斷地從軸承尾部排出空氣,從而形成天然屏障,阻止外部有害污染物(例如:原料碎片、或切割液)進(jìn)入。這樣可以提高設(shè)備的利用率,減少停機(jī)時(shí)間,從而提高整體效率。