對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

點：

A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較;

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

3、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調(diào)柜機 FFU送風口

這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

優(yōu)點：

A.不需要占用機房面積，布置很靈活的;

B.可以滿足空氣的潔凈度;

C.造價。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

D.送風均勻度好。