氦質(zhì)譜檢漏儀

設備是產(chǎn)生、改善并維持真空的裝置，包括真空應用設備及真空獲得設備。真空系統(tǒng)設備的真空系統(tǒng)是核心，主要由真空獲得、真空測量、真空腔體（或容器）以及控制輔助等部件（如真空閥門、管道等）。氦質(zhì)譜檢漏儀氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。其在使用過程中如果真空度達不到或者達到真空度速度慢都會影響企業(yè)的生產(chǎn)效

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因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質(zhì)譜檢漏，檢漏時構(gòu)造一個臨時的密閉空間，利用氦質(zhì)譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。氦質(zhì)譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層