氦質(zhì)譜檢漏儀

高速排氣性能：在微漏模式下He的排氣速度達(dá)到5L/s ;2  2  采用與本體獨(dú)立的平版觸摸式顯示器：搭載無線控制系統(tǒng)；2  可進(jìn)行直觀操作：的識(shí)別性及簡(jiǎn)易的測(cè)試畫面；2  支持多種真空泵：油回轉(zhuǎn)泵、渦旋型干泵；2  裝有方便使用及操作簡(jiǎn)單的推車，901系列 也提供低底盤型號(hào)；

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體。當(dāng)試件有漏時(shí)，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測(cè)。吸槍在試件表面移動(dòng)，同時(shí)注視氦質(zhì)譜檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點(diǎn)所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。