氦質(zhì)譜檢漏儀的組成——真空系統(tǒng)

儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)一般包括：

1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。

2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。

3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，也有預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。

4）冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。氦質(zhì)譜檢漏方法(以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

5）檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

6）真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

7）標準漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標準漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來校準儀器的可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法

?背壓法

全密封件進行的氣密性檢測時采用背壓法。檢漏前用壓氦罐向被檢件壓入氦氣（由壓力和時間控制壓入的量），然后取出被檢件，吹去表面吸附氦氣；或者先在被檢件前道工藝中向產(chǎn)品內(nèi)部封入氦氣。被檢件放入檢漏罐中，再將檢漏罐連接到氦質(zhì)譜檢漏儀，對檢漏罐抽真空檢漏，被檢件有漏孔存在，通過漏孔壓入（或封入）被檢件的氦氣會泄漏出來進入檢漏罐，被氦質(zhì)譜檢漏儀定量檢測到。（2）所謂動態(tài)檢漏，是指檢漏時，檢漏儀的真空系統(tǒng)仍在對質(zhì)譜室進行抽氣，且儀器的反應時間不大于3s的情況。用這種方法測得的漏率是總漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀——檢漏方法

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。

氦質(zhì)譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態(tài)， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法?？煽啃愿撸翰捎醚趸愩灍艚z提高燈絲壽命，系統(tǒng)具有強大的保護功能。