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激光微孔加工
激光打孔是早達(dá)到實(shí)用化的激光加工技術(shù),也是激光加工的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。激光打孔機(jī),是利用激光束在空間和時(shí)間上的高度集中,可以將光斑直徑縮小到微米級(jí)從而獲得很高的功率密度,幾乎可以對(duì)任何材料進(jìn)行激光打孔。
無(wú)論是不銹鋼、五金、鋁合金、銅制品、不銹鋼管、金屬或非金屬等材料上都可以打出各類不同的小孔:1.00--3.00(mm):次小孔:0.40--1.00(mm);超小孔:0.1--0.40(mm);微孔:0.01--0.10(mm);如在聚焦光束中或在透鏡前方放置一個(gè)所需形狀的孔欄,即可以打出異形孔。次微孔:0.001--0.01(mm);超微孔0.001mm;打孔的厚度可以達(dá)到5mm左右。
微孔激光加工
微孔激光加工機(jī)器是這個(gè)時(shí)代發(fā)展必用的設(shè)備,近代工業(yè)和科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展,使用硬度大、熔點(diǎn)高的材料越來(lái)越多,傳統(tǒng)的加工方法已不能滿足某些工藝需求。從人們提出先進(jìn)制造技術(shù)以來(lái),激光鉆微孔加工技術(shù)發(fā)展極為迅速,一方面激光技術(shù)的快/速發(fā)展促進(jìn)了超短脈沖激光在微孔加工中的應(yīng)用,如皮秒、飛秒的出現(xiàn),大大提高了激光微孔加工的精度,同時(shí)減小了激光加工后材料的熱影響區(qū),特別是激光器技術(shù)的發(fā)展,為微孔加工提供了新的工業(yè)應(yīng)用選擇。載玻片多用于實(shí)驗(yàn)室生物研究,通常這類微孔對(duì)孔徑精度要求較高,客戶要求定制。
激光打孔技術(shù)輪廓迂回法
加工表面形狀由激光束和被加工工件相對(duì)位移的軌跡決定。
用輪廓迂回法加工時(shí),激光器既可以在脈沖狀態(tài)下也可以在連續(xù)狀態(tài)下工作。用脈沖方式時(shí),由于孔以一定的位移量連續(xù)的彼此迭加,從而形成一個(gè)連續(xù)的輪廓。采用輪廓加工,可把孔擴(kuò)大成具有任意形狀的橫截面。
蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻,指通過(guò)曝光,顯影后將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)觸摸化學(xué)溶液,運(yùn)用兩個(gè)陽(yáng)形通過(guò)從兩面的化學(xué)研磨抵達(dá)溶解的作用,構(gòu)成凹凸或許鏤空成型的作用。蝕刻是很有針對(duì)性的,是指受控腐蝕,是金屬通過(guò)化學(xué)方法進(jìn)行一種可以控制的加工方法。跟著電子科技的發(fā)展,越來(lái)越多需求許多調(diào)集形狀雜亂、精細(xì)度要求高而機(jī)械加工難以實(shí)現(xiàn)的超薄形工件。L/D=5~20屬一般深孔,L/D﹥20~30屬中等深孔,L/D﹥30~100稱為特殊深孔)及淺孔。而化學(xué)蝕刻方法卻易抵達(dá)部件平整、刺、圖形雜亂的要求,且加工周期短、本錢低。它的化學(xué)原理是使用三氯化鐵水溶液作為腐蝕劑與金屬反應(yīng)。