真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專(zhuān)用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的，也是沒(méi)有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件，對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱(chēng)da允許漏率，簡(jiǎn)稱(chēng)允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo)，也是檢漏的依據(jù)。對(duì)工件充注干燥空氣/氮?dú)?-5Mpa，進(jìn)行大漏及耐壓檢測(cè)，通過(guò)該裝置判斷出被檢工件的大漏及耐壓試驗(yàn)。

如果已知允許的總氣載，而沒(méi)有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。

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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過(guò)對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過(guò)測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過(guò)檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過(guò)置零來(lái)清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場(chǎng)需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時(shí)，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫 95%氮的示蹤氣體，用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。