作用用途

新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加su器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對設(shè)備不腐蝕等特點，在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑（操作溫度－45~0℃之間）。由于對α粒子有高度的停止能力，還用于放i射化學(xué)。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。2016年將達到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復(fù)合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。

     為何會發(fā)生六氟化硫氣體中i毒？SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。由于技術(shù)問題等原因，有些SF6氣體產(chǎn)品的純度不達標，出廠時就會帶有一些有害雜質(zhì)。還有一種情況是在處理SF6氣體設(shè)備時，人員操作不當(dāng)，導(dǎo)致SF6電力設(shè)備泄 i露，有i毒有害物質(zhì)泄 i露，導(dǎo)致六氟化硫氣體中i毒。當(dāng)然也有部分企業(yè)在定期檢查檢漏時偷工減料，導(dǎo)致設(shè)備故障，從而發(fā)生六氟化硫氣體中i毒。

六氟化硫防護之工作人員防護措施：

      在有六氟化硫設(shè)備的工作場所，有關(guān)人員應(yīng)該穿著專業(yè)的SF6防護服以及手套和工作鞋。六氟化硫防護服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點，不會影響人員活動自由，此外還能保護人體遠離無機酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內(nèi)或者狹小的環(huán)境以及可能存在SF6泄i露的環(huán)境，使用防護面罩也屬于六氟化硫防護的內(nèi)容。在對SF6電氣設(shè)備進行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護的時候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業(yè)的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質(zhì)中，危害可不少。由于有些有毒物質(zhì)是氣態(tài)存在的，呼吸時有可能進入體內(nèi)，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復(fù)合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。在超高壓和特高壓斷路器中，SF6作為滅弧介質(zhì)，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。