BOXER 系列（130 至 460 對(duì)/8 小時(shí)）Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼鏡鏡片鍍膜的通用性高、生產(chǎn)力高且實(shí)用的中到大型平臺(tái)。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通過(guò)若干級(jí)進(jìn)行擴(kuò)展的能力為基礎(chǔ)，是滿足個(gè)別生產(chǎn)（無(wú)論是 Rx 生產(chǎn)還是存貨生產(chǎn)）需求的理想選擇。BOXER 系列鍍膜機(jī)進(jìn)行的加工包括從經(jīng)典的寬帶減反膜到吸光層（防曬）。BOXER 系列還適用于潔凈室用途。優(yōu)化的設(shè)置提供出色的性能BOXER 系列采用位于鍍膜腔中心的高功率電子槍，確保了基底上的鍍膜材料的均勻沉積。緊湊式平臺(tái)設(shè)計(jì)僅需少的占地空間且包括強(qiáng)大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提。不同的系統(tǒng)型號(hào)可提供靈活的應(yīng)用BOXER 真空鍍膜機(jī)提供四種不同的版本以滿足客戶的特定需要。如果對(duì)系統(tǒng)的需求隨著時(shí)間變化，其硬件可輕松進(jìn)行擴(kuò)展，從而提高生產(chǎn)力。BOXER 900 采用更大體積的腔室，在產(chǎn)量方面經(jīng)過(guò)優(yōu)化，且可滿足大批量的生產(chǎn)需求。提供無(wú)數(shù)定制選件，包括適用于無(wú)機(jī)玻璃應(yīng)用的雙石英晶體監(jiān)視器、翻轉(zhuǎn)布置以及加熱系統(tǒng)。泵腔內(nèi)容積不斷膨脹與壓縮，完成吸氣和排氣過(guò)程，使容器內(nèi)氣體逐漸排出達(dá)到需要的真空度。智能設(shè)計(jì)，易于維護(hù)BOXER 鍍膜系統(tǒng)的矩形設(shè)計(jì)可方便腔室屏蔽的快速拆卸以進(jìn)行清洗，而 BOXER 900 可通過(guò)屏蔽的滑動(dòng)布置實(shí)現(xiàn)類似的輕松清洗。專門開(kāi)發(fā)的“一鍵式修復(fù)”系統(tǒng)可方便基底支架的更換，由此有效地縮短基底傳送的時(shí)間。

指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的高油溫超過(guò)使用說(shuō)明書(shū)規(guī)定值，由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降，使橡膠件容易老化，熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入口壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳，溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。根據(jù)需求，可訂購(gòu)帶氣鎮(zhèn)裝置（6/14）的泵（USA型號(hào)的泵氣鎮(zhèn)閥為標(biāo)準(zhǔn)配置）。

羅茨泵工作原理

羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說(shuō)明有漏點(diǎn)。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。

但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。