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發(fā)布時(shí)間:2020-08-15 07:50  






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潽拓-萊寶渦輪分子泵維修的相關(guān)參數(shù)

MAG W 830 C W 1300 C W 1300 C

DN 160 DN 200 DN 250

Pumping speed (PNEUROP)

for N2 l·s-1 700 1100 1220

for Ar l·s-1 650 1050 1180

for H2 l·s-1 300 920 1020

Compression for N2 > 5·107 > 108 > 108



潽拓-萊寶渦輪分子泵維修的數(shù)據(jù)

貝克提出有實(shí)用價(jià)值的萊寶渦輪分子泵,以后相繼出現(xiàn)了各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵,主要有立式和臥式兩種,圖1為萊寶立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖。iH系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。萊寶渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線(xiàn)速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150~400米/秒)。


潽拓-萊寶渦輪分子泵維修數(shù)據(jù)

萊寶渦輪分子泵選用有油的前級(jí)泵工作時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)。在當(dāng)前研制成功的不同型的干式前級(jí)泵可作為萊寶渦輪分子泵的前級(jí)泵時(shí)就解決了有油系統(tǒng)的返流問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)清潔的真空獲得,如能選用當(dāng)前出現(xiàn)的那種從大氣壓一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。



潽拓-原裝萊寶真空泵維修

( 在真空狀態(tài)下如果前級(jí)泵管道上的真空規(guī)管拔下來(lái)的時(shí)候密封圈被吸進(jìn)去會(huì)損害分子泵嗎)

一,如果分子泵以及前級(jí)泵都在運(yùn)行中的話(huà),密封圈是會(huì)被吸入前級(jí)泵一端,大氣會(huì)進(jìn)入正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)的分子泵中,造成分子泵損壞,二,如果分子泵在停止?fàn)顟B(tài),密封圈會(huì)被吸入管道內(nèi),不會(huì)對(duì)分子泵造成影響



半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)因素是電子內(nèi)容產(chǎn)品的不斷 增長(zhǎng),以及現(xiàn)有電子產(chǎn)品變得越來(lái)越便宜、強(qiáng)大、小巧和輕便。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。 每個(gè)半導(dǎo)體芯片上含有數(shù)十億個(gè)極微小的電氣設(shè)備,需要通過(guò)許多重復(fù)的真空過(guò)程步驟制造。 精細(xì)的層次和電路圖案需要通過(guò)小心控制的真空沉積和蝕刻過(guò)程步驟加工。 真空過(guò)程還被用于改變?cè)O(shè)備材料的電學(xué)性質(zhì)。 隨著技術(shù)進(jìn)步,要生產(chǎn)更小、更強(qiáng)大和更便宜的設(shè)備,真空過(guò)程步驟也必須進(jìn)步。



INFICON產(chǎn)品分類(lèi):

1.檢漏儀

2.用于HVAC/R和汽車(chē)的維修工具

3.石英監(jiān)控器晶體

4.薄膜層積和電子槍控制裝置

5.氣體分析儀、質(zhì)譜儀

6.氣體濃度檢測(cè)儀

7.射頻傳感技術(shù)

8.工廠范圍故障檢測(cè)與分類(lèi)軟件(FDC)軟件

9.真空饋入裝置

10.真空原件

11.真空計(jì)控制器和電纜

12.寬量程真空計(jì)

13.真空計(jì)






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廣州潽拓——愛(ài)發(fā)科ULVAC_heliot900

ULVAC氦質(zhì)譜檢漏儀HELIOT 900

        氦質(zhì)譜檢漏儀HELIOT 900系列是愛(ài)發(fā)科新推出的新一代氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品特點(diǎn):高速氦氣排氣在微漏模式下He的排氣速度達(dá)到5L/S實(shí)現(xiàn)迅速降低背壓及系統(tǒng)的穩(wěn)定性,并實(shí)現(xiàn)即使增加輔助排氣系統(tǒng)也可檢測(cè)出微小漏點(diǎn)。,LTD文章標(biāo)注的極限真空,都是基于德國(guó)DIN28428的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),使用不銹鋼CF接口,烘烤后48小時(shí)測(cè)得的。高便利性觸摸屏采用在靜電容量方式的觸摸板的7英寸觸摸屏,顯示器完全從本體分離出來(lái),可以通過(guò)附屬的專(zhuān)用控制臺(tái)來(lái)配合合適的版面使用方法。另外,因?yàn)榇钶d與本體相連的無(wú)線(xiàn)控制模式,可以靈活的運(yùn)用遙控器。直觀的操作畫(huà)面可進(jìn)行只管操作,的識(shí)別性及簡(jiǎn)易的測(cè)試畫(huà)面可支持多種真空泵:油回旋泵、渦旋型干泵904系列裝。


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