如何保養(yǎng)鍍膜機(jī)才能壽命更長(zhǎng)？

真空鍍膜機(jī)就是：蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，終形成薄膜。

那么在使用的同時(shí)，我們?cè)趺慈ケｐB(yǎng)他，愛(ài)護(hù)它，從而讓他壽命更長(zhǎng)呢？

一般擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤(pán)，將一級(jí)噴嘴擰出，先用油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，真空鍍膜設(shè)備便可以重新開(kāi)機(jī)。在重新開(kāi)機(jī)前，要注意檢漏工作。

方法是：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好大門(mén)，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。

方法是：用NaOH飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸NaOH溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。

當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。

方法是：擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開(kāi)，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。

真空鍍膜過(guò)程的對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜到底多重要？

可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，終形成薄膜。

濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差(因?yàn)槭敲}沖濺射)，晶向(外沿)生長(zhǎng)的控制也比較一般。以pld為例，因素主要有：靶材與基片的晶格匹配程度、鍍膜氛圍(低壓氣體氛圍)、基片溫度、激光器功率、脈沖頻率、濺射時(shí)間。

對(duì)于不同的濺射材料和基片，參數(shù)需要實(shí)驗(yàn)確定，是各不相同的，鍍膜設(shè)備的好壞主要在于能否精準(zhǔn)控溫，能否保證好的真空度，能否保證好的真空腔清潔度。MBE分子束外沿鍍膜技術(shù)，已經(jīng)比較好的解決了如上所屬的問(wèn)題，但是基本用于實(shí)驗(yàn)研究，工業(yè)生產(chǎn)上比較常用的一體式鍍膜機(jī)主要以離子蒸發(fā)鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設(shè)備正常工作時(shí),主開(kāi)關(guān)電路中的開(kāi)關(guān)管處于飽和導(dǎo)通狀態(tài),管壓降保持在100V左右,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測(cè)電路R21上得到的電壓控制信號(hào)不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于截止?fàn)顟B(tài),而B(niǎo)G11、BG12、BG13處于導(dǎo)通狀態(tài),由BG11輸出一個(gè)2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10得到2.5V的電壓控制信號(hào)而處于導(dǎo)通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開(kāi)關(guān)管通過(guò)D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時(shí)BG7、BG8也處于導(dǎo)通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,提供主開(kāi)關(guān)管柵極恒定的電流。由于BG10處于導(dǎo)通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號(hào)UR2的控制。當(dāng)UR2<UD2時(shí),輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。

在真空鍍膜設(shè)備不正常情況下,增加束流時(shí),由于束斑的位置不在中心,電子束可能會(huì)打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會(huì)出現(xiàn)高壓無(wú)指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預(yù)定值,主開(kāi)關(guān)管處于截止?fàn)顟B(tài),承受全部高壓,使得高壓無(wú)輸出。由于打火而造成過(guò)大的束流,在電流檢測(cè)電路R21取得的過(guò)流信號(hào),使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于導(dǎo)通狀態(tài),C13通過(guò)BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號(hào)而截止,BG9立刻導(dǎo)通,550V正端通過(guò)BG9接到主開(kāi)關(guān)管的陰極,負(fù)端通過(guò)D5管接到主開(kāi)關(guān)管的柵極,主開(kāi)關(guān)管得到-550V偏壓而進(jìn)入深度截止,此時(shí)高壓就沒(méi)有指示了。