潔凈凈化技術(shù)之凈化車間的微振控制方案

對于微振控制要求的潔凈廠房在設(shè)計時應(yīng)該考慮哪些問題呢？

1.       在結(jié)構(gòu)選型，隔振縫設(shè)置，壁板與地面級頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。

2.       潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈震動的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動隔振措施。

3.       應(yīng)確定潔凈廠房內(nèi)各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備，精密儀器儀表位置處的綜合震動影響，以決定是否采取被動隔振措施。

另外在凈化車間的結(jié)構(gòu)材料上應(yīng)具備以下幾點(diǎn) ：

　　①凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造

　　②地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型

　?、鬯突仫L(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板

      ④送風(fēng)口宜用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用不銹鋼框架（或者冷板烤漆），不生銹不粘塵，宜清潔。

對有防靜電環(huán)境要求的凈化工程常用的幾種辦法

  1、選用合適的材料：

   凈化工程裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。導(dǎo)體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。

   2、接地：

   接地是帶電導(dǎo)體消除靜電為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡便、可靠的方法。

   (1)凈化工程內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。

   (2)凈化工程的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。

   (3)工藝設(shè)備接地。

   (4)辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地。

   (5)凈化工程工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。

凈化車間施工的注意事項

　　一、制定凈化車間施工程序表

　　建設(shè)凈化車間有先后的順序，杜絕哪部分材料先到就先施工哪部分的極端錯誤做法，避免污染。允許同時施工的各部分要注意彼此間的銜接關(guān)系，必要時應(yīng)繪制施工二次設(shè)計圖。

　　二、過濾器的安裝

　　凈化車間安裝過濾器之前，應(yīng)徹底做好清潔工作，凈化送、回風(fēng)系統(tǒng)連接試運(yùn)行24小時后，再次清潔潔凈室后，立即安裝過濾器。

　　潔凈送、回風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管的施工：風(fēng)管內(nèi)表面必須平整光滑，風(fēng)管安裝之后、保溫之前應(yīng)進(jìn)行漏風(fēng)檢查。風(fēng)管與部件支、吊架的預(yù)埋件或膨脹螺栓的位置應(yīng)正確，牢固可靠，埋入部分應(yīng)去除油污，并不得涂漆。

　　三、設(shè)置專用倉儲間

　　所有材料和設(shè)備說明書和合格證均應(yīng)妥善保管，以便竣工驗收后將資料完整的移交給用戶。設(shè)備和材料到達(dá)凈化車間施工現(xiàn)場時，應(yīng)嚴(yán)格檢查，各種過程器開箱檢查后應(yīng)重新封存。

怎樣維護(hù)好潔凈室工程

      在無塵車間中，由于靜電的不良影響，會導(dǎo)致微粒污染，靜電放電（ESD）以及設(shè)備故障等問題。現(xiàn)代的過濾技術(shù)可以防止絕大部分的外部粉塵進(jìn)入潔凈室。但是，在潔凈室內(nèi)部，粉塵依然會在工作人員，生產(chǎn)設(shè)備以及部分生產(chǎn)過程中產(chǎn)生。令人遺憾的是，通常這些粉塵源都會比較靠近產(chǎn)品。如果物體表面帶了靜電，由于靜電吸引就會吸附在潔凈室層流中傳播的粉塵。亞微米級的塵粒會影響到高科技產(chǎn)品的質(zhì)量，它們一旦被吸附，產(chǎn)品表面就很難清除。

      靜電放電也會產(chǎn)生電磁干擾（EMI）現(xiàn)象。這將會妨礙到產(chǎn)品設(shè)備（特別是基于微處理器的機(jī)器人技術(shù)）的正常工作。發(fā)生在某部分設(shè)備上的靜電放電，也可能會影響到附近其他設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣就很難找出問題出在什么地方。 一個的污染控制流程，必須將靜電問題作為潔凈室污染的一種類型，將其測量和處理納入其中。