從60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設(shè)備的絕緣介質(zhì)。SF6氣體絕緣的全封閉開關(guān)設(shè)備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運(yùn)行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網(wǎng)絡(luò)(SF6氣體絕緣的開關(guān)柜和環(huán)網(wǎng)供電單元)。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優(yōu)點(diǎn)是介質(zhì)損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場(chǎng)合，因此常用于水電站出線，取代常規(guī)的充油電纜。當(dāng)然清洗出的吸附劑、金屬粉末需要經(jīng)過中和處理之后進(jìn)行深埋，不得直接排放到外部環(huán)境中。SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點(diǎn)，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。SF6氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術(shù)發(fā)展的一個(gè)方向。

純凈的SF6氣體雖然無(wú)毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。

高壓擊穿技術(shù)。

Dian擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間Dian壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。除在上面的合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，另外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會(huì)產(chǎn)生一定的毒性物質(zhì)。因其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低，檢測(cè)精度相對(duì)高的特點(diǎn)。

充裝六氟化硫氣體嚴(yán)禁水分進(jìn)入

（1）工作未開始之前，首先應(yīng)測(cè)定現(xiàn)場(chǎng)周圍環(huán)境空氣相對(duì)濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數(shù)。測(cè)定如不合格，則應(yīng)采取措施或重選干燥晴朗的天氣進(jìn)行充裝。

 （2）為使SF6泄漏氣體及時(shí)排換，主尖在進(jìn)行充裝的同時(shí)開啟通風(fēng)機(jī)，認(rèn)真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。在工作開始后的一定時(shí)間內(nèi)即應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)，并具體情況于中途再進(jìn)行檢側(cè)。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。當(dāng)出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)隨即對(duì)部件進(jìn)行詳細(xì)檢查，查找原因并予以消除。