離子束刻蝕機的原理

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利用輝光放電原理將ya氣分解為ya離子，ya離子經(jīng)過陽極電場的加速對樣品表面進行物理轟擊，以達到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體，然后由柵極將離子呈束狀引出并加速，具有一定能量的離子束進入工作室，射向固體表面轟擊固體表面原子，使材料原子發(fā)生濺射，達到刻蝕目的，屬純物理刻蝕。

離子束刻蝕機的應用

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應用先進的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統(tǒng)的膠粘工藝，顯著改善了應變式傳感器的長期穩(wěn)定性及抗蠕變特性,使產(chǎn)品使用的溫度范圍大為擴展。由于沒有活動部件，抗振動和抗沖的能力很強，可用于惡劣的環(huán)境。

離子束刻蝕

離子束刻蝕技術是近年來發(fā)展起來的一種微細加工技術，它利用反應離子束轟擊團體表面時發(fā)生的濺射效應和化學反應剝離加工工作上的幾何圖形。具有極高的分辨率，能夠控制槽深和槽壁角度，表面應力小。反應離子束刻蝕技術已有效地用于研究和制造大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路，聲表面波器件，磁泡存儲器，微波器件，集成光路，超導器件，閃爍光柵等。