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配氣儀原理介紹
配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用精度很高的質(zhì)量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮?dú)狻⒓儍艨諝獾?。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標(biāo)氣。通過(guò)準(zhǔn)確的設(shè)置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。
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配氣儀如何購(gòu)買和選型
配氣儀的主流技術(shù)模式,是質(zhì)量流量控制計(jì)原理的。
此外,還有手動(dòng)流量控制和三通電磁閥原理的,除特殊情況外,不建議選用后兩種。
配氣儀類產(chǎn)品使用場(chǎng)合多種多樣,需求參數(shù)也有較大差異,因此,一般需要和廠家定制,會(huì)有一到兩周的貨期,為了達(dá)到配氣1%的精度,在定購(gòu)時(shí)需要考慮以下幾方面的需要并與廠家溝通:
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配氣儀
配氣儀主要是用來(lái)配比2種或多種不同氣體,調(diào)節(jié)氣體濃度和流量的。目前市面上對(duì)配氣儀的稱呼有各種各種樣,如: LFIX動(dòng)態(tài)配氣儀、 配氣系統(tǒng)、全自動(dòng)氣體濃度稀釋器、標(biāo)準(zhǔn)配氣儀、多通道配氣儀、氣體配比儀、自動(dòng)配氣系統(tǒng)等等。
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