位移測(cè)量傳感器[2-3]按照測(cè)量原理可分為電感式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、超聲波位移傳感器、電容位移傳感器等。其中，電感式傳感器和電渦流式傳感器在具體實(shí)驗(yàn)中雖然具有連續(xù)測(cè)量、精度較高等優(yōu)點(diǎn)，但都會(huì)有系統(tǒng)復(fù)雜且制造困難等問(wèn)題；超聲波傳感器具有波長(zhǎng)短、頻率高、方向性好等優(yōu)點(diǎn)，但是易受反應(yīng)堆內(nèi)環(huán)境影響，造成測(cè)量困難，會(huì)產(chǎn)生不小的誤差，且超聲波傳感器由于置于控制棒外殼內(nèi)部，使得維修不易。相比較而言，電容傳感器具有一定的優(yōu)越性，它具有可靠性高、響應(yīng)速度快、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。因此，本文使用電子六所研制的電容式位移傳感器對(duì)控制棒數(shù)據(jù)進(jìn)行研究。同時(shí)在丈量中采用激光三角丈量法和激光回波分析法兩種丈量方式，保證了丈量結(jié)果的快速性和精準(zhǔn)性?？刂瓢袈浒暨^(guò)程為直線下落運(yùn)動(dòng)，落棒時(shí)控制棒位移與電容值之間的關(guān)系對(duì)指示棒位非常重要。本文分別使用三次樣條函數(shù)、二乘法和BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法，對(duì)位移測(cè)量得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行曲線擬合分析，確定位移與電容值之間的關(guān)系。

位移傳感器的主要特性參數(shù)（位移傳感器原理）

標(biāo)稱(chēng)阻值：電位器上面所標(biāo)示的阻值。

允許誤差：標(biāo)稱(chēng)阻值與實(shí)際阻值的差值跟標(biāo)稱(chēng)阻值之比的百分?jǐn)?shù)稱(chēng)阻值偏差，它表示電位器的精度。允許誤差一般只要在 ±20%以?xún)?nèi)就符合要求,因?yàn)橐话阄灰苽鞲衅魇且苑謮旱姆绞絹?lái)使用,具體電阻的大小對(duì)傳感器的數(shù)據(jù)采集沒(méi)有影響.

線性精度:直線性誤差.此參數(shù)越小越好.

壽命:導(dǎo)電塑料位移傳感器都在200萬(wàn)次以上.

重復(fù)精度:此參數(shù)越小越好.

分辨率:位移傳感器所能反饋的較小位移數(shù)值.此參數(shù)越小越好.導(dǎo)電塑料位移傳感器分辨率為無(wú)窮小.

直線位移傳感器的使用：

MIRAN米朗科技公司生產(chǎn)的精密直線位移傳感器，是帶有一個(gè)長(zhǎng)的持續(xù)傳導(dǎo)軌跡分壓計(jì)型傳感器，在控制和測(cè)量運(yùn)用中，適合于位移傳感，其線性精度為士0.05%。具有移動(dòng)快，壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，符合精密油壓機(jī)的控制要求。

根據(jù)實(shí)際要求在油壓機(jī)的主缸、液壓墊上分別安裝KTF滑板式、KTC拉桿式直線位移傳感器。在一個(gè)半自動(dòng)工作過(guò)程中，油壓機(jī)的主缸、液壓墊分別帶動(dòng)兩只直線位移傳感器移動(dòng)，將采集到的兩點(diǎn)模擬量值輸入到FX2N-8AD，F(xiàn)X2N-8AD將此模擬輸入數(shù)值(此時(shí)是電壓輸入)，轉(zhuǎn)換成數(shù)字值，并且把他們傳輸?shù)絇LC主單元。選擇位移激光傳感器不僅能夠加緊建立人類(lèi)與天然出產(chǎn)領(lǐng)域之間的聯(lián)系，而且還能夠與眾多行業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行推廣滲透滲出，同時(shí)能夠進(jìn)步工具精準(zhǔn)度和保證設(shè)備工作狀態(tài)。主缸、液壓墊選用直線位移傳感器的有效測(cè)量長(zhǎng)度為500mm、400mm。

傳感器工作原理簡(jiǎn)單，測(cè)量功能強(qiáng)，故障少，發(fā)熱量低。直線導(dǎo)體f是直線導(dǎo)體一根交叉固定的非球形孔周邊軸承，成為一個(gè)導(dǎo)體。解決了齒輪變速器的齒根嚴(yán)重磨損和螺紋間隙問(wèn)題，解決了軸承的工作粘滯問(wèn)題，幾乎符合軸承發(fā)熱量的要求。其主要由上下兩電極、絕緣體、襯底構(gòu)成，在壓力作用下，薄膜產(chǎn)生一定的形變，上下級(jí)間距離發(fā)生變化，導(dǎo)致電容變化，但電容并不隨極間距離的變化而線性變化，其還需測(cè)量電路對(duì)輸出電容進(jìn)行一定的非線性補(bǔ)償。目前常用的原裝石英體型齒輪有直軸石英和傾斜軸石英兩種。直軸直軸在m以上的球齒輪被大多數(shù)專(zhuān)業(yè)采用。但是我國(guó)固定螺紋套筒中主要存在變差現(xiàn)象