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電子束蒸發(fā)的優(yōu)點在于:
電子束的光斑可以隨意調(diào)整,可以一槍多用,燈絲可以隱藏,避免污染,可以蒸發(fā)任意鍍膜材料,維修方便,蒸發(fā)速度可以隨意控制,材料分解小,膜密度高。機械強度好。濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面,通過動能傳輸,令靶材的分子(原子)有足夠的能量從靶材表面逸出,在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強,薄膜的純度高,可以同時濺射多種不同成分的材料,但是對靶材的要求高,不能象電子槍一樣節(jié)約資源。目前運用多的有磁控濺射,磁控濺射是指平行于陰極表面施加強電場,將電子約束在陰極靶材表面附近,提高電離效率。它是操作簡單的一種,所以運用非常廣。
鍍膜理論
鍍膜控制穿過光學(xué)干涉機制的反射光和透射光。當(dāng)兩個光束沿著同步路徑傳輸及其相位匹配時,波峰值的空間位置也匹配并將結(jié)合創(chuàng)建較大的總振幅。當(dāng)光束為反相位(180°位移)時,其疊加會導(dǎo)致在所有峰值的消減效應(yīng),導(dǎo)致結(jié)合的振幅降低。這些效應(yīng)被分別稱為建設(shè)性和破壞性的干涉。
光的波長和入射角通常是的,折射率和層厚度則可以有所不同以優(yōu)化性能。上述的任何更改將會影響鍍膜內(nèi)光線的路徑長度,并將在光透射時改變相位值。這種效應(yīng)可簡單地通過單層增透膜例子說明。當(dāng)光傳輸穿過系統(tǒng)時,在鍍膜任一側(cè)的兩個接口指數(shù)更改處將出現(xiàn)反射。為了盡量減少反射,我們希望它們在個接口重組時,這兩個反射部分具有180°的相位移。這個相位差異直接對應(yīng)于aλ/2位移的正弦波,它可通過將層的光學(xué)厚度設(shè)置為λ/4獲得良好實現(xiàn)。
真空鍍膜機鍍膜層厚度范圍
真空鍍膜機鍍膜層厚度范圍 真空鍍膜機能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2,可以在這個范圍內(nèi)選擇,有的還可以鍍多層膜,滿足多種需要。日本專利提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。該裝置的真空室分為上室,左下室和右下室。蒸鍍時,兩組蒸發(fā)源蒸發(fā)的鍍膜材料分別沉積在塑料薄膜上,在塑料薄膜沒有蒸鍍的一側(cè),裝上輝光放電發(fā)生器。發(fā)生器產(chǎn)生的輝光放電氣體能防止塑料薄膜起皺。使用這套裝置可以在極薄的塑料薄膜上鍍上無折皺的多層膜,用于制磁帶和薄膜太陽能電池等。