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如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方,如供暖,通風(fēng)和空調(diào)(HVAC),過程冷卻,壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個(gè)晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計(jì)和建造的捷徑,盡可能地壓縮初始投資,而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計(jì)和的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。?3、由食品/飲料無菌潔凈室管理的物流由外走廊經(jīng)過機(jī)械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進(jìn)入緩沖走廊后再經(jīng)過傳遞窗進(jìn)入各操作室。
潔凈車間設(shè)計(jì)須知:
其一、系統(tǒng)設(shè)計(jì):室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流,選擇氣流形式一是要參照慣例,二是要取決于房間的工作參數(shù)。
其二、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):為了保證氣流幾乎不受干擾,就必須進(jìn)行結(jié)時(shí)期以設(shè)計(jì),必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
其三、潔凈度與換氣次數(shù)設(shè)計(jì):房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù),因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工要求,再決定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。
工藝布置應(yīng)符合下列要求:
一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。
二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置,靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。
三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。
四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。
五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料人口,物料傳遞路線應(yīng)為短的,物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。