凈化車間FFU

當(dāng)使用FFU的時侯，凈化車間的吊頂被分成了若干模塊，每個模塊就是一個FFU，這樣我們可以通過調(diào)節(jié)每個模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風(fēng)靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。同時可以節(jié)省巨大的送、回風(fēng)管,故可節(jié)省安裝空間。尤其是在改造工程受到層高限制時，F(xiàn)FU有效地解決了這一問題。

千級凈化車間的濕度要求是多少?

凈化車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞過濾器代替過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時，對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。