Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

       Parylene是以活性分子在真空的條件下于對(duì)象表面聚合一層完全披覆的薄膜，可涂裝到任何形狀的表面，且不產(chǎn)生死角，包括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與極細(xì)微的中，膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位，薄膜厚度由0.001mm-0.05mm，是世界較薄的涂裝之一。

       東莞菱威納米科技有限公司是一家專業(yè)從事真空涂覆（parylene coating）的制造型企業(yè)。制造原理：將派瑞林(parylene)高分子材料裂解為納米分子，再進(jìn)行表面真空鍍膜處理。產(chǎn)品特征：經(jīng)過真空涂覆的產(chǎn)品可達(dá)到0.1至100微米的均勻薄膜涂層、無、耐酸堿、抗鹽霧、抗高壓、生物兼容、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件，是目前更理想的防潮、防霉（零級(jí)）、防腐、防鹽霧的絕緣涂層材料。

        Parylene適合用于鐵氧體材料(磁環(huán)、磁芯)等電子組件的鍍膜，鍍膜后的電子組件其涂膜附著力強(qiáng)、耐磨性好、硬度高、抗高電壓絕緣性強(qiáng)，漆膜外觀細(xì)膩均勻、柔滑、觸感好。耐漆包線的繞線性強(qiáng)，漆膜不裂傷。同時(shí)可以增加鐵氧體等磁性材料的介電性及耐高壓性能，可以解決普通環(huán)氧樹脂噴涂處理后不耐酸、磨等方面的缺陷。Parylene 涂層能在磁性材料表面形成均勻一同的絕 緣防護(hù)涂層！

        鑄造部件：經(jīng)Parylene處理的表面不會(huì)有微粒產(chǎn)生，同時(shí)可以增強(qiáng)工作的可靠性，并且可防止污染。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業(yè)作為今后10-15年的發(fā)展產(chǎn)品。這些產(chǎn)品的表面采用Parylene來涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅(jiān)固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運(yùn)用大。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時(shí)間能達(dá)到70-100小時(shí)。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時(shí)。其耐腐蝕時(shí)間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。