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無塵車間該如何防止微粒子污染呢?
一、不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
4)機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二、不發(fā)生
在控制污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
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在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。二、送風風機,直接影響送風的總量,直接影響風機過濾單元的功用。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。
無塵車間潔凈度等級劃分標準
ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.
為劃分等級,ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.
ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮.