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發(fā)布時(shí)間:2021-10-22 11:27  











磁控濺射是為了在低氣壓下進(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。通過在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率的方法。

工作原理

  磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar 和新的電子;新電子飛向基片,Ar 在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。增加平衡軸(如上圖中間位置所示部件)也是這些辦法其中之一,簡(jiǎn)單說平衡軸其實(shí)就是一個(gè)裝有偏心重塊并隨曲軸同步旋轉(zhuǎn)的軸,利用偏心重塊所產(chǎn)生的反向振動(dòng)力,使發(fā)動(dòng)機(jī)獲得良好的平衡效果,降低發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長(zhǎng),而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,

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二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下終沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。






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   早一批采用雙頂置凸輪軸設(shè)計(jì)的發(fā)動(dòng)機(jī)分別是由菲亞特(Fiat,于1912年)、標(biāo)致(于1913年)、阿爾法·羅密歐(于1914年)設(shè)計(jì)制造的。其中后兩者還采用了每缸四氣門的設(shè)計(jì)。在后來的阿爾法·羅密歐6C(1925年)、瑪莎拉蒂蒂波26(Maserati Tipo 26,1926年)、布加迪51型(Bugatti Type 51,1931年)以及早期的奧迪(Audi)等車上也采用了這一技術(shù)。薄膜混合集成電路適用于各種電路,特別是要求精度高、穩(wěn)定性能好的模擬電路。此外,早期采用每缸兩氣門技術(shù)的法拉利(Ferrari)大多使用了雙頂置凸輪軸。

   當(dāng)雙頂置凸輪軸技術(shù)被引入主流汽車市場(chǎng)時(shí),汽車制造商對(duì)這一技術(shù)進(jìn)行了大量的推廣。載體一般由三氧化二鋁制成,其形狀有球形、多棱體形和網(wǎng)狀隔板等。在1960年代中期,正當(dāng)這一技術(shù)還于少數(shù)生產(chǎn)的汽車和運(yùn)動(dòng)車上時(shí),菲亞特集團(tuán)果斷地在其包括轎跑車、轎車、敞蓬車和旅行車在內(nèi)的產(chǎn)品線上使用了皮帶驅(qū)動(dòng)的雙頂置凸輪軸技術(shù),從而成為了用這一技術(shù)的公司

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