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電子廠房無(wú)塵車(chē)間環(huán)境如何才能保證穩(wěn)定?
對(duì)于電子廠房無(wú)塵車(chē)間來(lái)說(shuō),內(nèi)部的潔凈度測(cè)量是比較讓人傷頭腦的,因?yàn)槲覀兏緵](méi)有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù),或者是一個(gè)具象的物品來(lái)進(jìn)行參考,其實(shí)對(duì)于內(nèi)部的環(huán)境測(cè)量,目前是可以通過(guò)電子顯微鏡或者是光學(xué)顯微鏡進(jìn)行測(cè)量,了解環(huán)境內(nèi)部的凝粒子等,這樣能夠更好地判斷內(nèi)部的環(huán)境空氣含塵量是否符合標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)塵車(chē)間專(zhuān)用傳遞窗標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)范明確了操作內(nèi)容及標(biāo)準(zhǔn),可以讓用戶(hù)能更好地使用傳遞窗,保證潔凈室的安全不受污染。
為了能夠更好地保證潔凈車(chē)間潔凈度,根據(jù)我國(guó)電子廠房無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)規(guī)范進(jìn)行判斷,在整個(gè)環(huán)境內(nèi)進(jìn)行潔凈度檢測(cè),對(duì)于單向流行的車(chē)間測(cè)定總數(shù)不能少于二十個(gè),測(cè)量的間距大概在五十厘米到兩米之間。如果是十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)這一類(lèi)潔凈度等級(jí)偏低的車(chē)間,那么就不一定要安裝風(fēng)淋設(shè)備了。專(zhuān)業(yè)的檢測(cè)團(tuán)隊(duì)這對(duì)于整個(gè)內(nèi)部的環(huán)境判斷也是很重要,能夠避免日后在使用的過(guò)程當(dāng)中,會(huì)出現(xiàn)一些意外的情況而影響使用,帶來(lái)更為嚴(yán)重的麻煩。
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無(wú)塵潔凈廠房對(duì)振動(dòng)控制有怎樣的設(shè)計(jì)?
1潔凈廠房和周?chē)o助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道,應(yīng)采取積極隔振措施。
??2對(duì)潔凈廠房?jī)?nèi)外各類(lèi)振源,應(yīng)測(cè)定其對(duì)潔凈廠房的綜合振動(dòng)影響。如受條件限制,也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對(duì)綜合振動(dòng)影響進(jìn)行評(píng)價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行比較,以確定對(duì)其采取必要的隔振措施。
??3精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施,應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空簧隔振臺(tái)座時(shí),應(yīng)地氣源進(jìn)行處理,使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。
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到底什么是潔凈工程?
??潔凈室之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。通常是順應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)流程進(jìn)行布置,盡量做到、物流的路線短捷,設(shè)備布置緊湊,并應(yīng)符合有關(guān)的消防安全、衛(wèi)生規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
??每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。如大輸液的灌封等可在1萬(wàn)級(jí)背景下局部100級(jí)的生產(chǎn)環(huán)境內(nèi)操作。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。