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普發(fā)渦輪分子泵速度真空機(jī)械泵「多圖」

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發(fā)布時(shí)間:2020-10-29 08:59  






    廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實(shí)力雄厚,充滿活力的高素質(zhì)團(tuán)隊(duì)。



廣州潽拓光電——PFEIFFER DUO 3真空泵保養(yǎng)(PUTUOVAC VACUUM)

 3油泵特性:

集成型氣鎮(zhèn)閥和HV安全閥

適于所有粗真空和中度真空范圍的應(yīng)用

帶磁性接合器的腐蝕性氣體機(jī)型

特點(diǎn):

通過不同的電動(dòng)機(jī)電壓可實(shí)現(xiàn)更廣泛的使用







廣州潽拓光電——專業(yè)維修Pfeiffer TMH260渦輪分子泵保養(yǎng)(PUTUOVAC VACUUM)

   Pfeiffer TMH260渦輪分子泵是德國Pfeiffer Vacuum公司設(shè)計(jì)制造的一款分子泵,

Pfeiffer TMH260的轉(zhuǎn)速為60000rpm, 其對(duì)應(yīng)的頻率為1000Hz,標(biāo)準(zhǔn)的Pfeiffer TMH260渦輪

分子泵對(duì)應(yīng)的極限真空為1.0*10-7mbar,使用不銹鋼外殼及CF口徑的Pfiffer TMH260極限真空

可以達(dá)到5.0*10-10mbar


德國普發(fā) Pfeiffer TMH260應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 

2. 真空處理技術(shù) 

3. 質(zhì)譜分析 

4. 研發(fā)及化工行業(yè)




旋片式真空泵的工作原理

     在氣鎮(zhèn)操作的情況下,一個(gè)孔向外側(cè)打開,讓氣體流入前側(cè)的密封吸入室。因此,在壓縮抽吸階段,在相對(duì)低的壓縮下達(dá)到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始冷凝前排出置換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達(dá)到的終壓力,高于無氣鎮(zhèn)操作所達(dá)到的壓力。

工作液、油

     泵油,也成為工作液,在旋片式真空泵種泵油有多個(gè)任務(wù)要求執(zhí)行。它潤滑所有移動(dòng)部件,填充的出口

閥下的固定空間以及縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工作室之間的間隙,此外還通過熱傳遞確保jia溫度平衡。






多級(jí)泵

     旋片式真空泵是內(nèi)置的單級(jí)和兩極版。二極泵比單級(jí)泵實(shí)現(xiàn)相對(duì)更低的極限壓力。此外,氣鎮(zhèn)對(duì)極限的影響較低,因?yàn)闅怄?zhèn)僅允許在高壓力級(jí)使用。


真空安全閥

    根據(jù)所涉及的泵類型,旋片式真空泵可能配備真空安全閥。真空安全閥在有意或意外停頓的情況下

將泵與真空室隔離,并使用置換氣體對(duì)泵系統(tǒng)進(jìn)行排氣,防止油液上升到真空室中。在開啟泵后,一旦泵中

的壓力已達(dá)到真空室中的近似壓力,它稍作延遲就打開。






潽拓——普發(fā)渦輪分子泵速度{精}普發(fā)渦輪分子泵速度,分子泵


普發(fā)(Pfeiffer)真空泵代理/型號(hào)DUO3/光譜儀專用真空泵

品牌:普發(fā)                                                   型號(hào):DUO3

排氣量:2.9m3/h                                         極限真空:3*10-3mbar

電機(jī)功率:0.15kw                                        噪音值:53dB

重量:10kg



旋片泵系列包括:

DUO2.5,DUO3, DUO5, DUO10, DUO20







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