退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋該诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調(diào)質(zhì)爐，主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應(yīng)力退火、時(shí)效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)狻⑷济?、熱風(fēng)循環(huán)。退火爐是一種新型換熱設(shè)備。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺(tái)車用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。退火爐傳動(dòng)部分：臺(tái)車傳動(dòng)采用電動(dòng)機(jī)、減速機(jī)通過鏈條帶動(dòng)前端一組主動(dòng)輪傳動(dòng)。爐門傳動(dòng)是采用蝸輪減速機(jī)和電動(dòng)機(jī)組合電動(dòng)升降。

基本上全部的鑄造件在制冷全過程上都會(huì)造成焊接應(yīng)力，在調(diào)質(zhì)處理全過程中，非常世界多元化解決和退火處理以后均會(huì)成熱應(yīng)力，熱應(yīng)力產(chǎn)生的關(guān)鍵緣故取決于鑄造件的內(nèi)部肉厚不一樣，在快速制冷全過程中因?yàn)闊峤档牟顒e產(chǎn)生，肉厚不一樣會(huì)使每一個(gè)分不清的收攏各不相同，因此造成了說白了熱應(yīng)力，冷的一部分具備較高的潛變長(zhǎng)短，而熱的一部分其長(zhǎng)短較低，故熱的一部分便會(huì)在冷的一部分收攏后產(chǎn)生網(wǎng)絡(luò)熱點(diǎn)導(dǎo)致部分的形變，形變一部分之抗壓強(qiáng)度，伴隨著形變度的提升而提升，再不可以進(jìn)一步形變時(shí)，鑄造件內(nèi)部產(chǎn)生某類程的延展性地應(yīng)力，乃至塑性變形應(yīng)變力，即是熱應(yīng)力，此地應(yīng)力基本上可達(dá)到與抗壓強(qiáng)度等價(jià)