真空鍍膜設(shè)備背壓檢漏法

背壓檢漏法是一種充壓檢漏與真空檢漏相結(jié)合的方法，真空鍍膜設(shè)備中多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無損檢漏技術(shù)中。

其檢漏過程基本上可分為充壓、凈化和檢漏三個(gè)步驟。

(1)充壓過程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內(nèi)存放一定時(shí)間，如被檢件有漏孔，示漏氣體就可以通過漏孔進(jìn)入被檢件的內(nèi)部，并且將隨浸泡時(shí)間的增加和充氣壓力的升高，被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力也必然會(huì)逐漸升高。

(2)凈化過程是采用干燥氮?dú)饬骰蚋稍锟諝饬髟诔鋲喝萜魍獠炕蛟谄鋬?nèi)部噴吹被檢件。

如不具備氣源時(shí)也可使被檢件靜置，以便去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。

在凈化過程中，因?yàn)橛幸徊糠謿怏w必然會(huì)從被檢件內(nèi)部經(jīng)漏孔流失，從而導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力逐漸下降，而且凈化時(shí)間越長(zhǎng)，示漏氣體的分壓降就越大。

(3)檢漏過程則是將凈化后的被檢件放入真空室內(nèi)，將檢漏儀與真空室相連接后進(jìn)行檢漏。

抽真空后由于壓差作用，示漏氣體即可通過漏孔從被檢件內(nèi)部流出，然后再經(jīng)過真空室進(jìn)入檢漏儀，按檢漏儀的輸出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。

真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用

真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜機(jī)器的溫度，使其工作達(dá)到、率控制溫度的目的。以前在沒冷水機(jī)的情況下，自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響，而且此方式控制是極不穩(wěn)定的。因此，可以說冷水機(jī)是真空鍍膜設(shè)備中非常重要的配套冷卻設(shè)備，因?yàn)槔渌畽C(jī)直接關(guān)系到真空鍍膜機(jī)工作效果的好壞。

真空鍍膜機(jī)為什么要配套冷水機(jī)？

這個(gè)要從真空鍍膜工作原理查看：膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜料分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮，如果真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤，結(jié)合力也很差。

冷水機(jī)設(shè)有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，水溫在5℃～30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制，可以達(dá)到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是：制冷系統(tǒng)將水冷卻，再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機(jī)進(jìn)行降溫，冷水機(jī)冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱，達(dá)到冷卻的作用。

現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量及監(jiān)控方法

涂層的鍍膜機(jī)控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法，該儀器可以直接驅(qū)動(dòng)的蒸發(fā)源，通過PID控制回路傳動(dòng)擋板，使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的，鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。

此外，雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定，但溫度高，它將成為對(duì)溫度很敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過程中，鍍膜機(jī)很難避免傳感器為敏感的區(qū)域，導(dǎo)致薄膜的重大錯(cuò)誤。光學(xué)監(jiān)測(cè)是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式，鍍膜機(jī)這是因?yàn)樗軠?zhǔn)確控制膜的厚度(如果使用得當(dāng))。

精度的提高，由于許多因素，但根本的原因是光學(xué)厚度的監(jiān)測(cè)。optimalswa-i-05單一波長(zhǎng)的光學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，是間接控制，鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測(cè)軟件結(jié)合王博士的發(fā)展，有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法，提供監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。

真空鍍膜設(shè)備冷水機(jī)有什么作用？

真空冷水機(jī)廣泛應(yīng)用于工業(yè)制冷，它能提供恒流、恒溫、恒壓，控制真空電鍍?cè)O(shè)備的溫度，不同工藝流程需要控制不同的溫度，真空電鍍?cè)O(shè)備中冷水機(jī)可以分為風(fēng)冷式的冷水機(jī)和水冷式的冷水機(jī)，水冷式冷水機(jī)達(dá)到好的冷卻效果加冷卻水塔，風(fēng)冷式冷水機(jī)對(duì)工作環(huán)境有要求，它通過熱風(fēng)循環(huán)制冷，通風(fēng)效果的好壞直接影響到冷水機(jī)的制冷效果。

冷水機(jī)應(yīng)當(dāng)具備水溫調(diào)節(jié)控制能力，不受氣溫及環(huán)境影響；性能要穩(wěn)定，保證長(zhǎng)年連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不出現(xiàn)故障；節(jié)能省電，有自我調(diào)節(jié)功能，有效節(jié)約電；噪音要低，應(yīng)當(dāng)有缺相、錯(cuò)相、電流過載、高低壓保護(hù)系統(tǒng)。真空電鍍?cè)O(shè)備配備冷水機(jī)是為了達(dá)到率、控制溫度的目的以保證鍍件的高質(zhì)量，增加鍍件的密度和平滑，縮短電鍍周期，提高生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品的質(zhì)量。

真空電鍍?cè)O(shè)備專用的冷水機(jī)主要組成有：壓縮機(jī)，貯液器，干燥過濾器，熱力膨脹閥，蒸發(fā)器，制冷劑，冷凝器。壓縮機(jī)是心臟，冷水機(jī)制冷系統(tǒng)通過壓縮機(jī)輸入電能，將熱量沖低溫環(huán)境排放到高溫環(huán)境，制冷壓縮機(jī)決定整個(gè)系統(tǒng)的效率。貯液器安裝在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接連通，貯液器起到調(diào)劑和貯存制冷劑的作用。