光波超精密——超精密氣浮導(dǎo)軌

目前，國(guó)內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來(lái)構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——超精密氣浮導(dǎo)軌

安裝時(shí)，無(wú)論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購(gòu)時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。其特點(diǎn)是運(yùn)動(dòng)精i確，清潔無(wú)污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅(qū)動(dòng)、傳感器、閉環(huán)系統(tǒng)的方式實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌廣泛應(yīng)用于測(cè)量?jī)x器和精密機(jī)械中，超精密工作臺(tái)常用的導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已用多年，滾動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦因數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——超精密氣浮導(dǎo)軌

與普通滾動(dòng)導(dǎo)軌相比，氣浮導(dǎo)軌具有以下優(yōu)點(diǎn)

導(dǎo)軌面之間為氣體潤(rùn)滑，其摩擦系數(shù)極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動(dòng)功率；

由于系非接觸摩擦，所以導(dǎo)軌磨損極i小，壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒(méi)有關(guān)系，即使在非常低的速度下也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產(chǎn)生熱量，不發(fā)生粘度變化。

作為工業(yè)產(chǎn)品，直線導(dǎo)軌在機(jī)械上的應(yīng)用很重要，肯定是要用到它的，不僅僅是美觀上，在應(yīng)用體驗(yàn)上也要?jiǎng)?chuàng)新設(shè)計(jì)，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行不斷的研究，直線導(dǎo)軌在不同的應(yīng)用上使用一定年限后會(huì)產(chǎn)生變化，那么就需要我們對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行設(shè)計(jì)和改進(jìn)。

所以既然要設(shè)計(jì)直線導(dǎo)軌，那么首先要遵循直線導(dǎo)軌副的自動(dòng)貼合原理，要使導(dǎo)軌精度高，就必須使導(dǎo)軌副具有自動(dòng)貼合的特點(diǎn)。橫梁可以靠移動(dòng)部件的重量來(lái)固定，而其他的橫梁則需要額外的彈簧力或滾筒壓力來(lái)固定。

然后是全接觸原理，固定直線導(dǎo)軌的長(zhǎng)度，要求動(dòng)導(dǎo)軌必須處于行程的兩個(gè)極限位置，與固定導(dǎo)軌進(jìn)行全接觸，以保證直線導(dǎo)軌副在接觸過(guò)程中能完成全接觸，使之達(dá)到完i美狀態(tài)。

在使用環(huán)境惡劣的地方，有的型號(hào)還配備了專用的軟伸縮防塵罩和專用的防塵罩。此外，如果需要在易受切削屑和切削液噴濺影響的環(huán)境下使用，建議采用軟環(huán)形伸縮罩，以保護(hù)整個(gè)系統(tǒng)，或采用大面積伸縮防塵罩。

為了改善防塵性能，每一直線導(dǎo)軌系統(tǒng)均配以高耐磨損的特殊合成橡膠制成的密封墊片，以及層疊式接觸刮i刀、清潔環(huán)等配件。