光波超精密——機床氣動直線導軌

超精機靜壓氣浮導軌是由高精度的靜導軌、動導軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導軌運動時，在動靜壓導軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動形成潤滑膜，使動靜壓導軌表面不直接接觸。氣浮導軌與液壓導軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運動精度高的特點，在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關(guān)。

光波超精密空氣導軌——機床氣動直線導軌

由于氣浮軸承將氣體排入導軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和速度也不斷提高，氣浮導軌明顯具有摩擦阻力小、無粘滯、運動精度高的特點，而在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設(shè)備中，已廣泛應(yīng)用。

當氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關(guān)。進入導軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和運動速度也不斷提高，氣浮導軌的摩擦力將對超精密機床的定位精度、系統(tǒng)運動速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對超精密機床的定位精度和運動速度進行研究，已成為當前研究的熱點[4-6]。

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機床的動靜導軌表面，可有效地降低氣浮導軌間隙內(nèi)高速氣體的流動阻力，提高機床定位精度和系統(tǒng)運動速度。以計算流體動力學方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導軌微結(jié)構(gòu)表面流體動力減阻分析模型，并結(jié)合流場分析和阻力分析，尋找符合氣浮導軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對減阻效果的影響規(guī)律，并通過識別各種因素對減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機床氣浮導軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規(guī)律，對氣浮導軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進行了優(yōu)化設(shè)計。

氣浮式導軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負載得以平穩(wěn)運行i。

氣浮式導軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測量和實驗室測量，如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導軌無需人工校正，補償。

計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩(wěn)、振幅小、振動頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響，摩擦力小，低速運動不會產(chǎn)生爬行抖動現(xiàn)象。隨動電機快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測試要求