光波超精密——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括：導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度，導(dǎo)軌面之間的平行度，導(dǎo)軌間的垂直度；導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。

影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下：

導(dǎo)軌直線度：它對(duì)導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

導(dǎo)軌剛度：導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方；導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后，整體變形，與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。

導(dǎo)軌表面粗糙度：主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式：直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。

基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。其特點(diǎn)是運(yùn)動(dòng)精i確，清潔無(wú)污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅(qū)動(dòng)、傳感器、閉環(huán)系統(tǒng)的方式實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌廣泛應(yīng)用于測(cè)量?jī)x器和精密機(jī)械中，超精密工作臺(tái)常用的導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已用多年，滾動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦因數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

與普通滾動(dòng)導(dǎo)軌相比，氣浮導(dǎo)軌具有以下優(yōu)點(diǎn)

導(dǎo)軌面之間為氣體潤(rùn)滑，其摩擦系數(shù)極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動(dòng)功率；

由于系非接觸摩擦，所以導(dǎo)軌磨損極i小，壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒(méi)有關(guān)系，即使在非常低的速度下也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產(chǎn)生熱量，不發(fā)生粘度變化。