氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過(guò)實(shí)驗(yàn)，總結(jié)通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)其漏率校準(zhǔn)的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

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氦氣檢漏儀的工作原理是什么？

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同；在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，再設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙；2Mpa的干燥、潔凈、無(wú)油的氣體，在換熱器表面的焊縫處刷一定濃度的肥皂水，如果存在泄漏點(diǎn)，會(huì)連續(xù)形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飛。打在收集器上，收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。

氦質(zhì)譜檢漏的成本控制

氦質(zhì)譜檢漏相對(duì)于其他的檢漏方法，因使用抽真空機(jī)組及高純氦氣其經(jīng)濟(jì)成本居高不下。筆者在生產(chǎn)制造檢測(cè)中摸索出一整套減少檢測(cè)費(fèi)用的方法，使氦質(zhì)譜檢漏具備了在板翅式換熱器生產(chǎn)中大規(guī)模使用的可能。

檢漏口真空度的控制

根據(jù)NB/T 47006 鋁制板翅式熱交換器中A.5 氦質(zhì)譜檢漏和JB/T 7261 鋁制板翅式熱換器中漏率要求，檢漏口真空度一般要求為：1.33Pa。

在設(shè)計(jì)圖樣及供貨合同中對(duì)檢漏口真空度有明確要求的，按照其要求的檢漏口真空度進(jìn)行檢測(cè);如果沒(méi)有要求，根據(jù)大量的檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)，將檢漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，這樣的一個(gè)檢漏口真空度并沒(méi)有降低檢測(cè)的準(zhǔn)確性，但其抽真空所需的電費(fèi)能減少20%-50%?；蚴褂脻舛炔坏陀?~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動(dòng)情況，因?yàn)檫@會(huì)影響到吸槍法的檢測(cè)精度。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開(kāi)通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。