廢氣處理設備按成分分類有：

粉塵處理設備：濾筒除塵器、濾袋除塵器、（初、中、）過濾器等等；

煙氣處理設備：噴淋塔、靜電油煙凈化器等等；

氣味處理設備：UV光解凈化設備（光催化設備、光氧凈化設備）、等離子凈化設備、活性炭過濾器等等。因氣味類的廢氣是為復雜的，特別的工廠車間的氣味廢氣成分有幾千、幾萬種類別以上。但國家有關的廢氣排放標準，主要是針對有機廢氣處理要求較為嚴格。

設備安全可靠、操作簡單、維護方便，運行費用低，VOCs去除率高。分解溫度在220-380℃，燃料消耗低，設備成本造價低。CO是使用低溫觸媒分解法，在催化室滯留1~1.5/s,可以完全分解，有機廢氣置催化載體截面空速比為:15000h-1。將有毒的CH化合物轉化為無毒的CO2和H2O,從而使污染得到治理。適用于處理濃度在2000~10000mg/m3的多種有機廢氣。 在通過正壓置換器流經(jīng)催化室，在此處進行氧化觸媒，分解面積根據(jù)VOC的濃度比設計。

    ★光催化氧化：TiO2類催化劑在光照下，可產(chǎn)生高化學活性的、可殺菌除臭的O與-OH。特點：投資少、穩(wěn)定、無二次污染，但對廢氣的預處理要求較高，并受到催化劑固定方式的影響。

      ★熱力燃燒法：在高溫(≥760℃)下可較徹底將污染物凈化，并可回收熱量。特點：但其投資與運行費用昂貴，僅適用于較小氣量與較高濃度的場合，若反應室的結構稍有不佳，則脫臭不完全。

東莞廢氣治理對城市處理的一些分析過程:

     根據(jù)東莞廢氣治理調查：隨著能源危機與環(huán)境污染的加劇, 微藻生物柴油越來越受到各國研究者的關注.就整體工藝而言, 微藻生物柴油的生產(chǎn)包括藻種選育、微藻培養(yǎng)、微藻收獲、油脂提取與轉脂.微藻培養(yǎng)是其中一個重要環(huán)節(jié), 在微藻培養(yǎng)過程中, 利用淡水培養(yǎng)微藻需消耗大量淡水資源, 有悖于當前淡水資源緊缺的背景.同時, 營養(yǎng)物質的投加進一步提高了微藻的培養(yǎng)成本.