有機無機蒸發(fā)鍍膜儀

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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構，主要由二個有機材料生長室組成，兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個生長室系統(tǒng)預留與手套箱對接接口，能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。5、樣品在鍍膜過程中，可烘烤加熱，加熱溫度為：室溫～190℃，測溫控溫。有機無機蒸發(fā)鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。