無塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。

l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室，將是一理想之規(guī)劃。

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無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。其中應(yīng)急型在正常情況下也可以當(dāng)普通型使用，在廠房突然斷電的情況下，其可保持繼續(xù)照明，并且不需要單獨(dú)供電系統(tǒng)。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。

層流手術(shù)室空氣凈化系統(tǒng)要求

1、Ⅰ～Ⅲ級潔凈手術(shù)室和Ⅰ～Ⅱ級其他潔凈用房應(yīng)當(dāng)實行空氣潔凈系統(tǒng)送、回風(fēng)的動態(tài)控制；

2、Ⅳ級潔凈手術(shù)室和Ⅲ、Ⅳ級其他潔凈用房可以通過末端為亞過濾器的局部空氣凈化設(shè)備實行動態(tài)控制，并設(shè)置工程專職人員負(fù)責(zé)手術(shù)進(jìn)行中的計算機(jī)動態(tài)監(jiān)控；

3、非潔凈區(qū)可以利用局部凈化設(shè)備進(jìn)行自凈（空氣凈化機(jī)）；

4、嚴(yán)禁使用有化學(xué)刺激、致ai因素的局部空氣凈化設(shè)備；

5、空氣凈化系統(tǒng)的送風(fēng)末端裝置應(yīng)當(dāng)保證密閉，不泄露；

6、負(fù)壓手術(shù)室和產(chǎn)生致病性氣溶膠的房間應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的空氣凈化系統(tǒng)，并且排風(fēng)口安裝過濾器；

7、排放有致病氣溶膠的風(fēng)口應(yīng)采用密閉裝置。