真空泵的機(jī)械選擇

⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。因?yàn)樵谶M(jìn)行任何一個(gè)產(chǎn)品使用時(shí)，沒(méi)有人能夠保證，這個(gè)產(chǎn)品在長(zhǎng)期進(jìn)行使用過(guò)程當(dāng)中，不會(huì)出現(xiàn)任何的質(zhì)量隱患問(wèn)題。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵）對(duì)有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。

⑸真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用于薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備。其實(shí)我們國(guó)家對(duì)于任何一個(gè)設(shè)備，在進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，它的售后服務(wù)保障，都會(huì)有著嚴(yán)格的規(guī)定。真空泵在科學(xué)儀器行業(yè)用于同步輻射光束線(xiàn)機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器。真空泵在機(jī)械設(shè)備行業(yè)用于材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。真空泵在包裝行業(yè)用于食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。真空泵在真空冶金行業(yè)用于真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。

往復(fù)式真空泵屬于干式真空泵，別名活塞式真空泵，主要是依靠汽缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)吸入和排出氣體。往復(fù)式真空泵操作簡(jiǎn)單，不怕水蒸氣，非常牢固。一般情況下，往復(fù)式真空泵可能會(huì)出現(xiàn)以下幾類(lèi)問(wèn)題。

1、真空泵抽速降低。造成真空泵抽速降低的原因包括：真空泵閥片斷裂、真空泵漏氣、吸入過(guò)高溫度的氣體以及氣缸磨損等。真空泵維修方法有：更換新閥片、修理氣缸以及加裝氣體冷卻裝置。

2、真空泵的真空度降低。真空泵降低的主要原因有三點(diǎn)：1、閥片磨損；2、吸入氣體溫度過(guò)高；3、氣閥片與閥座接觸不良。真空泵維修方法：1、更換新的閥片；2、加裝氣體冷卻裝置；3、氣閥片與閥座進(jìn)行刮研。

3、真空泵電機(jī)負(fù)荷過(guò)高。電機(jī)負(fù)荷過(guò)高的原因包括：偏心輪與偏心圈摩擦發(fā)生高熱和連桿軸瓦產(chǎn)生高熱。真空泵維修方法：檢查潤(rùn)滑油的數(shù)量和真空泵油的容量。

真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造精度要求不高、容易加工、操作簡(jiǎn)單、維修方便。結(jié)構(gòu)緊湊，泵一般與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，轉(zhuǎn)數(shù)較高。用較小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得較大的排氣量。泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬摩擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間密封可直接由水封來(lái)完成。干式螺桿真空泵主要用于高純粹的真空加工工藝過(guò)程，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含細(xì)微細(xì)顆粒物的氣體。泵腔內(nèi)壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小，可認(rèn)為是等溫壓縮，故可以抽除、的氣體。由于沒(méi)有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體及氣水混合物。

真空泵使用注意事項(xiàng)如下：

1、管路連接時(shí)，真空泵內(nèi)禁止焊渣進(jìn)入。

2、真空泵的進(jìn)水的管路連接在循環(huán)水箱的中下部位。

3、禁止在極限壓力下工作，此時(shí)應(yīng)調(diào)節(jié)位于真空泵體上的放氣閥。

4、無(wú)水狀態(tài)下不允許連續(xù)工作，不然會(huì)損壞真空泵機(jī)械密封。

5、不可以在泵腔內(nèi)注滿(mǎn)水的狀態(tài)下啟動(dòng)真空泵，防止扭距過(guò)大而導(dǎo)致主軸斷裂。

6、冬季停泵時(shí)，應(yīng)及時(shí)放盡泵腔內(nèi)的水，防止凍裂泵體。

7、當(dāng)使用硬水作為工作液時(shí)，需要定期用10%草酸放入泵腔內(nèi)浸泡、清洗。