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電子特氣系統(tǒng)的維護
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。
(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高,并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門,設置換瓶吹掃,程序自動進行抽氣,置換等動作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。它分為調(diào)整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。
(2)管路的維護,由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對管路維護的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復的抽真空,抽完后關閉閥門,1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導,遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。漏孔堵塞現(xiàn)象:指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導致塵?;蛞后w堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負波動。
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試驗室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點
針對過去使用中存在的問題,現(xiàn)代試驗室對載氣的使用環(huán)境進行了改革,即 “集中供氣系統(tǒng)”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點。其優(yōu)點主要有以下幾點:
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間,如果與試驗室在同一大樓內(nèi),則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。它們的投資規(guī)模巨大,采用最1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴格的要求。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運送氣體至使用點。因為氣瓶間是相對獨立的,整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內(nèi),可對人體及儀器的傷害可降到1低。對氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定
1、氦檢漏儀表應采用質(zhì)譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特氣系統(tǒng),內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后,應重新經(jīng)過氣密性試驗,合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統(tǒng)測試完畢,應充入高純氮氣,并進行吹掃。測試完畢后,應提交測試報告。