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實驗室集中供氣的優(yōu)點
1、保持氣體純度
2、不間斷氣體供應:系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換,保證氣體連續(xù)供應
3、低壓警示:當氣壓低于警報限時,報警裝置可自動啟動報警
4、氣體壓力穩(wěn)定:系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力
5、率:通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本
6、操作簡便:所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運安裝的操作,節(jié)約時間和成本費用
7、無氣瓶在實驗室:可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間
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電子特氣系統(tǒng)的維護
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng),因此在生產線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經驗的技術員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。
(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高,并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門,設置換瓶吹掃,程序自動進行抽氣,置換等動作,根據氣體性質的不同,一般至少吹掃60次以上,負壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸(1英寸=25。
(2)管路的維護,由于不同的氣體性質不一樣,對管路維護的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復的抽真空,抽完后關閉閥門,1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導,遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到沒有吸附氣體釋放為止。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間,如果與試驗室在同一大樓內,則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。
以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負波動。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法
特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空,外部噴氦氣的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣,外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。