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所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的級(jí)。
目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。以下是無塵車間需知的凈化參數(shù):隔間、吊頂材質(zhì)、吊頂高度;地坪材質(zhì);是否恒溫恒濕;是否需要排風(fēng);車間總?cè)藬?shù)多少;車間工藝設(shè)備的發(fā)熱量;等等一系列的參數(shù).
去無塵車間流程:注意要將上衣全部扎緊褲袋里,頭發(fā)全部塞入帽內(nèi),并檢查衣帽是否整齊。洗手、消毒。在洗手池用水潤濕雙手至腕上10cm,用清潔劑洗滌,使手及手腕上10cm的皮膚均充滿泡沫,摩擦約15秒鐘。用水沖洗雙手,沖凈手上泡米,雙手上下翻動(dòng),摩擦,直至不感滑膩為止。用眼檢查雙手是否已清潔干凈。消毒。將雙手至腕上10cm浸泡到含氯消毒液中30秒。