氦質(zhì)譜檢漏儀  概述

操作方便：體積小，重量輕，結(jié)構(gòu)緊湊，操作面板簡(jiǎn)單；

性能高：采用了進(jìn)口檢漏儀儀分了泵與的質(zhì)譜系統(tǒng)，靈敏度度高，檢測(cè)壓強(qiáng)高，響應(yīng)時(shí)間快；

功能強(qiáng)大：多種模自動(dòng)切換，豐富的菜項(xiàng)，具有權(quán)限管理功能；

可靠性高：采用性的氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命，系統(tǒng)具有強(qiáng)大的保護(hù)功能；

多種接口：外控IO，遙控器接囗以及外部規(guī)管接口等用戶接囗；

怎么樣影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度

受到檢測(cè)壓力的影響

泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的，還會(huì)帶來諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為終的測(cè)試壓力。試漏機(jī)試漏壓力的選擇必須充分考慮被測(cè)零件各個(gè)機(jī)構(gòu)對(duì)于測(cè)試壓力的承受能力。

年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，要注意經(jīng)常校準(zhǔn)。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準(zhǔn)。注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè)，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。

高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

氫質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氨質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣 ，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi);

2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可;

3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;

4.檢測(cè)的數(shù)據(jù);

5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。