刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進(jìn)給量，在超精密磨床上，可以進(jìn)行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長遠(yuǎn)發(fā)展的觀點來看，制造技術(shù)是當(dāng)前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟(jì)的主攻方向和戰(zhàn)略決策，是一個國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要手段之一，同時又是一個國家獨(dú)立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟(jì)上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上的長遠(yuǎn)大計?？萍嫉陌l(fā)展對精密加工和超精密加工技術(shù)也提出了更高的要求。

盡管隨時代的變化，超精密加工技術(shù)不斷更新，加工精度不斷提高，各國之間的研究側(cè)重點有所不同，但促進(jìn)超精密加工發(fā)展的因素在本質(zhì)上是相同的。這些因素可歸結(jié)如下。

　　對產(chǎn)品高質(zhì)量的追求。為使磁片存儲密度更高或鏡片光學(xué)性能更好，就必須獲得粗糙度更低的表面。為使電子元件的功能正常發(fā)揮，就要求加工后的表面不能殘留加工變質(zhì)層。按美國微電子技術(shù)協(xié)會(SIA)提出的技術(shù)要求，下一代計算機(jī)硬盤的磁頭要求表面粗糙度Ra≤0．2nm，磁盤要求表面劃痕深度h≤lnm，表面粗糙度Ra≤0．1nmp。1983年TANIGUCHI對各時期的加工精度進(jìn)行了總結(jié)并對其發(fā)展趨勢進(jìn)行了預(yù)測，以此為基礎(chǔ)，BYRNE描繪了20世紀(jì)40年代后加工精度的發(fā)展。

介紹下精密機(jī)械加工的原則：

純粹的基礎(chǔ)水平考慮的重點是如何減少誤差，提高精度，所以選擇本質(zhì)表面的基本原則是：

一：基準(zhǔn)重合原則。應(yīng)選擇盡可能的設(shè)計基準(zhǔn)作為定位基準(zhǔn)。特別是在后的完成,保證準(zhǔn)確性,更應(yīng)注意這一原則。這樣可以避免造成位置誤差基準(zhǔn)偏差;

二：基準(zhǔn)統(tǒng)一原則。應(yīng)選擇統(tǒng)一的定位基準(zhǔn)面的各種表面處理,盡量保證各表面間的位置精度;有時也遵循共同基準(zhǔn)的原則,反復(fù)加工;

三：自為基準(zhǔn)原則。一些小型機(jī)械加工余量和統(tǒng)一的精加工過程,確保加工質(zhì)量和生產(chǎn)率,與精密加工表面本身作為一個基礎(chǔ)水平。

精密零件加工具體有哪些特點呢？

一、精密零件切削加工

主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等。在精密車床上用通過精細(xì)研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，外表粗糙度為Rz0.05微米。

二、精密零件加工

精密零件加工精度以納米，甚至后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標(biāo)時，超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng)，必要借助特種精密零件加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達(dá)到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。