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真空鍍膜系統(tǒng)公司服務(wù)放心可靠「艾明坷」

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發(fā)布時(shí)間:2021-07-26 08:14  






CT系列鍍膜機(jī)

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿(mǎn)足您的特殊需要。

特點(diǎn):1、按需開(kāi)發(fā),量身定制。

2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統(tǒng)

5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用

想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢(xún)!艾明坷竭誠(chéng)為您服務(wù)!


真空鍍膜機(jī)

真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

需要鍍膜的被稱(chēng)為基片,鍍的材料被稱(chēng)為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。我可是這樣認(rèn)為的,一個(gè)人連表面工作都作不來(lái),那真的還有內(nèi)在、實(shí)在的工作嗎。 對(duì)于濺射類(lèi)鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過(guò)程,終形成薄膜。

艾明坷科技有限公司專(zhuān)業(yè)致力于手套箱、溶劑凈化等行業(yè)技術(shù)服務(wù),艾明坷竭誠(chéng)為您服務(wù)!


真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域

在平板顯示器中

所有各類(lèi)平板顯示器都要用到各種類(lèi)型的薄膜,而且,幾乎所有類(lèi)型的平板顯示器件都需要使用ITO膜,以滿(mǎn)足透明電器的要求。可以毫不夸張的說(shuō),沒(méi)有薄膜技術(shù),就沒(méi)有平板顯示器件。

在太陽(yáng)能利用方面

當(dāng)需要有效地利用太陽(yáng)熱能時(shí),就要考慮采用對(duì)太陽(yáng)光線吸收較多、而對(duì)熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽(yáng)光譜的峰值大約在波長(zhǎng)為2-20μm之間的紅外波段。由于太陽(yáng)輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效地利用太陽(yáng)熱能,就必須考慮采用具有波長(zhǎng)選擇特性的吸收面。機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用最廣泛,本文主要介紹)四種類(lèi)型。

理想的選擇吸收面,是太陽(yáng)輻射光譜的波段(可見(jiàn)光波段)吸收率(α)為1,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0。

在防偽技術(shù)中

防偽膜種類(lèi)很多,從使用方法可分為反射式和透射式;從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。

在飛機(jī)防護(hù)涂層方面

飛機(jī)的鈦合金緊固件,原來(lái)采用電鍍方法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛行過(guò)程中,受到大氣、海水的腐蝕,鍍層上容易產(chǎn)生“鎘脆”,甚至引起“空難”。

1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機(jī)零件的“鎘脆”問(wèn)題。在離子鍍技術(shù)中,由于給工件施加負(fù)偏壓,可以形成“偽擴(kuò)散層”、細(xì)化膜層組織,因此,可以顯著提高膜層的耐腐蝕性能。

在光學(xué)儀器中

人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測(cè)距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開(kāi)鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。

在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域中

薄膜材料作為信息記錄于存儲(chǔ)介質(zhì),有其得天獨(dú)厚的優(yōu)勢(shì):

由于薄膜很薄,可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。

為了更精密地記錄與存儲(chǔ)信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。

在傳感器方面

在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對(duì)于物理量、化學(xué)量及其變化來(lái)說(shuō),極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中,大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價(jià)格制作,因此,采用薄膜的情況很多。

在集成電路制造中

晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。可見(jiàn),氣相沉積是制備集成電路的核心技術(shù)之一。

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真空鍍膜機(jī)鍍制薄膜不均勻的解決方法


制的薄膜的均勻性都會(huì)受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來(lái)控制的,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開(kāi)動(dòng)并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對(duì)離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì)造成真空度不夠,但太長(zhǎng)又浪費(fèi)資源,不過(guò)有真空計(jì)的存在,要控制好還是不成問(wèn)題的。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號(hào)是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級(jí)泵和多級(jí)泵。



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