微波加熱原理和影響因素：外加電場的變化頻率越高，分子擺動(dòng)就越快，產(chǎn)生的熱量就越多；外加電場越強(qiáng)，分子的振幅就越大，由此產(chǎn)生的熱量就越多；與物料的種類及性質(zhì)有關(guān)：如物料的密度大，溫度升高慢；物料的比熱容大，溫度升高慢。微波加熱設(shè)備的基本構(gòu)成：電源、微波管、連接波導(dǎo)、加熱器及冷卻系統(tǒng)等。微波加熱設(shè)備的基本類型：箱式、隧道式、平板式、曲波導(dǎo)式和直波導(dǎo)式。1、箱式微波加熱器適于非連續(xù)化加熱；2、隧道式微波加熱器；3、波導(dǎo)型微波加熱器：波導(dǎo)型加熱器（行波場波導(dǎo)加熱器）──即在波導(dǎo)的一端輸入微波，在另一端有吸收剩余能量的水負(fù)載，這樣使微波能在波導(dǎo)內(nèi)無反射地傳輸，構(gòu)成行波場。4、輻射型微波加熱器：輻射型加熱器是利用微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波通過一定的轉(zhuǎn)換裝置，再經(jīng)輻射器（照射器、天線等）向外輻射的一種加熱器。5、慢波型微波加熱器：該加熱器是一種微波沿著導(dǎo)體表面?zhèn)鬏數(shù)募訜崞?。因?yàn)樗鼈魉臀⒉ǖ乃俣缺瓤臻g傳送慢，所以叫做慢波加熱器。6、微波真空干燥箱：將微波加熱與真空干燥相結(jié)合的干燥方法,叫做微波真空干燥法。

微波加熱技術(shù)應(yīng)用范圍極廣闊，微波加熱技術(shù)在食品加工中應(yīng)用僅是其中的一小部分。可以這樣說，人們在認(rèn)識(shí)微波加熱特點(diǎn)的過程中，同時(shí)正在與現(xiàn)有技術(shù)相結(jié)合去開發(fā)出越來越多的新裝置和儀器。例如，微波爐和冰箱的組合冰箱；微波水壺和微波卷發(fā)器，微波加熱和洗衣機(jī)組合的微波烘干、洗衣機(jī)；微波熱水器，低溫水分測量儀等。微波加熱技術(shù)的發(fā)展與人們的認(rèn)識(shí)和掌握，以及市場需求是密切相關(guān)的。其中完善微波加熱設(shè)備和加工工藝尤為關(guān)鍵。

微波的特性決定了微波加熱設(shè)備的優(yōu)勢:（1）加熱迅速，均勻。不需熱傳導(dǎo)過程，且具有自動(dòng)熱平穩(wěn)性能，避免過熱。（2）加熱質(zhì)量高，低溫加熱（3）安全衛(wèi)生無污染（4）節(jié)能。由于含有水分的物質(zhì)極易直接吸收微波而發(fā)熱，沒有經(jīng)過其他中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，因此除少量的傳輸損耗外幾乎無其他損耗。比一般常規(guī)加熱省電約30%～50%。

一種低溫多晶硅制備方法及微波加熱設(shè)備.其中,該低溫多晶硅的制備方法包括:提供一基板;在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層;進(jìn)行微波加熱,將所述非晶硅層晶化為多晶硅層;其中,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之前,和/或,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之后以及在進(jìn)行微波加熱將所述非晶硅層晶化為多晶硅層之前,還包括:形成晶化誘導(dǎo)膜.本發(fā)明實(shí)施例提供的低溫多晶硅制備方法和微波加熱設(shè)備,可以解決常規(guī)多晶硅退火工藝晶化均一性低,工藝難度大,產(chǎn)品良率低的問題,使多晶硅制備溫度有效降低,晶粒也更加均勻,同時(shí),可以降低制備工藝難度和設(shè)備成本,獲得成本更低,品質(zhì)更高且良率更高的多晶硅產(chǎn)品.