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徐州光刻板的行業(yè)須知,制版

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發(fā)布時間:2020-07-31 12:09  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學(xué)反應(yīng),選用方解石是因?yàn)槠涞慕贤饩€穿透率。掩模版遮光一部分用Cr,因此有時候也叫鉻板。選用燈的g線應(yīng)i線,在于你常用的光刻膠,每個光刻膠產(chǎn)品介紹都是列舉其所比較敏感的納米段。 






掩膜版是制作掩膜圖形的理想感光性空白板,通過曝光過程,這些圖形的信息將被傳遞到芯片上,用來制造芯片。

由于圖形數(shù)據(jù)準(zhǔn)備是掩膜版加工中的關(guān)鍵步驟,要求用戶對所提交的版圖文件仔細(xì)核對,確保圖形正確性。以下將對用戶較為關(guān)心的版圖繪制問題作出具體說明。光刻板本體的外部邊緣增設(shè)一保護(hù)環(huán),保護(hù)環(huán)具有多種開孔,以便在保護(hù)環(huán)處的硅片的邊緣處刻出晶粒,將光刻板本體處的硅片保護(hù)起來,硅片邊緣刻出晶粒后,邊緣的不合格情況通過目測可以清楚看出,能有效防止混料情況。光掩模板或者光罩,曝光過程中的原始圖形的載體,通過曝光過程,這些圖形的信息將被傳遞到芯片上。制造芯片時用.




光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖型,為將圖型於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時,利用底片將影像至相片上。






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