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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光刻版在使用過(guò)程中不可避免的會(huì)粘上灰塵、光刻膠等污染物,這些污染物的存在直接影響到光刻的效果。為了保證光刻版潔凈,必須定期對(duì)光刻版進(jìn)行清洗,而清洗的效果與清洗工藝以及各清洗工藝在設(shè)備上的合理配置有著密切的聯(lián)系。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。其圖形結(jié)構(gòu)可通過(guò)制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。
掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
光掩膜一般也稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。光掩膜主要由兩部分組成:基板和不透光材料。
作為半導(dǎo)體、液晶顯示器制造過(guò)程中轉(zhuǎn)移電路圖形“底片”的高精密工具,光掩膜是半導(dǎo)體制程中非常關(guān)鍵的一環(huán)。
烤版時(shí)還要注意:①烤版箱內(nèi)的紅外燈管一定要橫向排列,如縱向排列,往往導(dǎo)致印版瓦楞狀變形而影響使用。②烤版膠濃度要合適,如烤版膠太稠,烤版效果和上墨效果也不會(huì)令人滿意;如烤版膠太稀,烤出的版容易上臟。③烤版溫度不能過(guò)高,溫度過(guò)高也會(huì)導(dǎo)致鋁版基韌化和發(fā)軟,樹(shù)脂層焦化,影響耐印力。缺點(diǎn):批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同時(shí)生產(chǎn),供貨周期長(zhǎng)??景鏁r(shí)間太長(zhǎng)易導(dǎo)致印版上臟,烤版時(shí)間太短達(dá)不到烤版的效果??瓷先ブ瓢婀に嚥皇翘珡?fù)雜,但要想制作出合格的印版,確實(shí)需要操作人員用心曬版,用心加工印版。