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待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。其圖形結(jié)構(gòu)可通過制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。
掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))等。石英掩膜版使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術(shù),在半導(dǎo)體上形成圖型,為將圖型於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時(shí),利用底片將影像至相片上。
業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK),材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應(yīng)用于對(duì)集成電路進(jìn)行投影定位,通過集成電路光刻機(jī)對(duì)所投影的電路進(jìn)行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓?,顯影,去感光膠,后應(yīng)用于光蝕刻。前述將電路制造在半導(dǎo)體芯片表面上的集成電路又稱薄膜(thin-film)集成電路。