雙軸石英撓性加速度計批發(fā)撓性的材料為溫度性能好的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學腐蝕方法；也可以采用反應離子蝕刻工藝加工整個撓性材料，但造價很高。雙軸石英撓性加速度計批發(fā)在結構上強行磁極對頂固定，互為對方的反向磁片，在間隙間形成均勻磁場。當有加速度a輸入時，由撓性材料及力矩線圈組成的敏感質量塊相對平衡位置運動而產生慣性力Fa或慣性力矩，然后通過換能器將此機械運動轉換成電信號，再通過伺服放大器變成電流信號，電流信號被饋送到處于恒定磁場中的力矩器而產生反饋力Foc或反饋力矩Moc，與輸入加速度引起的慣性力Fa或慣性力矩相平衡，直到再次恢復到平衡位置。通過分析石英撓性加速度計的溫度誤差機理,研究在不同溫度條件下的靜態(tài)輸出特性.利用多次溫度實驗數(shù)據(jù),采用更小二乘和多項式擬合的方法建立了石英撓性加速度計溫度誤差補償模型.實驗結果表明:溫度誤差補償后,石英撓性加速度計在-20℃到50℃范圍內刻度因子漂移量由10-4數(shù)量級提高到10-5數(shù)量級,零偏漂移量由800μg提高到52μg.

石英撓性加速度計作為加速度敏感傳感器可應用于航空設備在軌微振動監(jiān)測。針對石英撓性加速度計,設計了一種測量與控制電路,作為在軌微振動測量系統(tǒng)的核心組成單元,用于微加速度信號的檢測與調理、抗混疊濾波、數(shù)據(jù)同步采集、處理、存儲和狀態(tài)控制。實際測試表明其信號測量精度高,數(shù)據(jù)采集同步性好,工作穩(wěn)定可靠，石英加速度計因結構簡單、體積小、響應快、靈敏度高等優(yōu)點，在航空航天眾多領域得到廣泛應用。

雙軸石英撓性加速度計批發(fā)一問世，就很快取代了液浮擺式加速度計，成為慣性導航和制導系統(tǒng)中不可缺少的關鍵器件。目前，石英撓性擺式加速度計已被廣泛應用于各種線加速度、振動加速度的測量和速度、距離、角速度、角位移等參數(shù)測量。成功地用于微重力測量系統(tǒng)、慣性導航系統(tǒng)、巖土地基鉆孔測量及石油鉆井、連續(xù)測斜系統(tǒng)、航空運載、彈道、宇宙飛船等軍民領域。

石英撓性加速度近些年維持每一年8%的提高，現(xiàn)階段在民用的好幾個行業(yè)獲得廣泛運用，石英撓性加速度計是擺式加速度計的一種，以結構力學三大定律做為基本概念準確測量加速度。雙軸石英撓性加速度計批發(fā)關鍵由左右扭矩器、擺部件及其伺服電機回路構成。在其中電磁線圈根據(jù)粘膠方式與石英擺片固連，連在線圈骨架與擺片組成擺部件，完成檢驗品質的作用，用于比較敏感外部鍵入加速度。石英撓性加速度計具備構造簡易、精度好的特性。在慣性導航系統(tǒng)軟件、大地測量學系統(tǒng)軟件中有普遍的運用。這類加速度計的關鍵缺陷是，準確測量加速度超出700M/，其離散系統(tǒng)偏差顯著擴大，另外不可以承擔很大的沖擊性震動。